گیرنده های پوشش داده شده CVD SiC به عنوان نگهدارنده ویفر تخصصی در فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی فلزی-آلی (MOCVD) عمل می کنند و نقش مهمی در ساخت نیمه هادی ایفا می کنند. این اجزا برای حفظ یکپارچگی ساختاری ویفرها در طول اپیتاکسی تحت شرایط شدید مانند دمای بالا و محیط های خورنده حیاتی هستند. **
ادامه مطلب