بشکه SiC برای اپیتاکسی سیلیکون

Semicorex SiC Barrel For Silicon Epitaxy با استفاده از مواد گرافیت پوشش داده شده با کاربید سیلیکون (SiC) ساخته شده است. این ساختار منحصربه‌فرد مقاومت عالی در برابر شوک‌های حرارتی و تخریب شیمیایی را تضمین می‌کند، طول عمر سوسپتور را طولانی‌تر می‌کند و قابلیت اطمینان فرآیند را حفظ می‌کند.

پوشش پیشرفته SiC روی SiC Barrel For Silicon Epitaxy رسانایی حرارتی و توزیع حرارت عالی را ارائه می‌کند و پروفیل‌های دمایی یکنواخت را در سرتاسر سوسپتور ایجاد می‌کند. این امر کنترل فرآیند را بهبود می‌بخشد، گرادیان‌های حرارتی را به حداقل می‌رساند و رشد لایه همپایی ثابت را تضمین می‌کند که در نتیجه فیلم‌های سیلیکونی با کیفیت بالا با یکنواختی و خلوص استثنایی ایجاد می‌شود.

بشکه SiC ما برای اپیتاکسی سیلیکون را می توان برای برآوردن نیازها و ترجیحات خاص سفارشی کرد. از تنظیمات اندازه گرفته تا تغییرات ضخامت پوشش، ما انعطاف‌پذیری در طراحی برای تطبیق با پارامترهای مختلف فرآیند و بهینه‌سازی عملکرد برای کاربردهای خاص ارائه می‌کنیم.

SiC Barrel For Silicon Epitaxy ما قابلیت اطمینان و طول عمر را ارائه می دهد و زمان خرابی و هزینه های تعمیر و نگهداری مرتبط با تعویض مکرر را کاهش می دهد. ساختار قوی و عملکرد استثنایی آن به بهبود راندمان فرآیند کمک می کند و در نهایت بهره وری و مقرون به صرفه بودن را برای عملیات تولید نیمه هادی افزایش می دهد.