پره های سیلیکون کاربید جامد

جامد نیمه کورکسباله های کاربید سیلیکونمعمولاً به عنوان اجزای عایق حرارتی در داخل لوله های کوره عمودی تجهیزات عملیات حرارتی نیمه هادی مانند کوره های آنیلینگ RTP و کوره های انتشار نصب می شوند. پره‌های کاربید سیلیکون جامد Semicorex می‌توانند به طور موثر توزیع دما را در کوره‌های با دمای بالا تنظیم کنند و آسیب حرارتی را به قطعات درزگیر فرآیند ناشی از دماهای بالا به حداقل برسانند. در شرایط عملیاتی اکسیداسیون مرطوب، پره های کاربید سیلیکون جامد Semicorex را می توان برای جلوگیری از تأثیرات منفی بر نتایج فرآیند و دستگاه های نیمه هادی ناشی از تراکم بخار آب در دمای نسبتاً پایین فرآیند استفاده کرد.

مزایای پره های کاربید سیلیکون جامد Semicorex

1. مقاومت در برابر سایش عالی

CVD SiC دارای ساختار کریستالی مکعبی پلی کریستالی است که بعد از الماس از سختی استثنایی برخوردار است. مقاومت در برابر سایش عالی پره های کاربید سیلیکون جامد Semicorex به این ویژگی نسبت داده می شود که باعث می شود در هنگام جابجایی و تعویض در برابر سایش مقاومت کنند.

2. ظرفیت مدیریت حرارتی برتر

CVD SiC مقاومت حرارتی عالی و پایداری در دمای بالا را ارائه می دهد که در دماهای تقریباً 2000 درجه سانتیگراد ذوب یا نرم نمی شود و قبل از تصعید دمای فوق العاده بالا پایداری خود را حفظ می کند. به لطف این ویژگی های حرارتی برتر، پره های کاربید سیلیکون جامد Semicorex برای شرایط چالش برانگیز پردازش حرارتی نیمه هادی بسیار مناسب هستند.

3. تمیزی فوق العاده بالا

CVD-SiCبدون افزودنی های پخت در طی فرآیند رسوب تولید می شود. در مقایسه با کاربید سیلیکون متصل به واکنش معمولی، دارای خلوص بسیار بالاتری است که به بیش از 99.9995٪ می رسد. این به طور موثر از آلودگی ناخالصی فلزی پره های کاربید سیلیکون جامد Semicorex ناشی از دماهای بالا در محیط های فرآیند جلوگیری می کند و کاملاً نیاز تمیزی تولید نیمه هادی های پیشرفته را برآورده می کند.

4. مقاومت در برابر خوردگی قابل اعتماد

باله های کاربید سیلیکون جامد Semicorex می توانند در برابر گازهای فرآیندی بسیار اکسید کننده و اسیدی قوی که در فرآیندهای عملیات حرارتی نیمه هادی استفاده می شوند، مقاومت کنند، به دلیل بی اثری شیمیایی استثنایی CVD SiC در دماهای بالا. این مقاومت در برابر خوردگی قابل اعتماد به طور موثر عمر سرویس آنها را طولانی می کند و هزینه های تعویض قطعات را کاهش می دهد.

5. دقت ماشینکاری دقیق

برای اطمینان از سازگاری با لوله‌های کوره‌های مختلف، Semicorex می‌تواند پره‌های کاربید سیلیکون جامد را مطابق با نیاز مشتری برای قطر، ضخامت، اندازه سوراخ، صافی و تحمل‌های ابعادی سفارشی کند. این دقت ماشینکاری با استاندارد بالا، عملکرد پایدار پره‌ها را در تجهیزات تضمین می‌کند و به بهینه‌سازی راندمان کلی کاربردهای عملیات حرارتی نیمه‌رسانا کمک می‌کند.