حلقه متمرکز کاربید سیلیکون جامد

در ساخت نیمه هادی، حلقه متمرکز کاربید سیلیکون جامد Semicorex نقش مهمی را ایفا می کند و به عنوان یک محافظ عمل می کند و یکپارچگی ویفر را در طول فرآیند اچ حفظ می کند. طراحی دقیق مهندسی شده آن، حکاکی دقیق و یکنواخت را تضمین می کند، در نتیجه تولید عناصر نیمه هادی بسیار پیچیده را تسهیل می کند که عملکرد و قابلیت اطمینان بالایی از خود نشان می دهند.

کاربید سیلیکون ماده انتخابی برای حلقه فوکوس است که به دلیل مقاومت بالای آن در برابر خوردگی پلاسما هنگام قرار گرفتن در معرض پلاسما در محفظه واکنش خلاء است. حلقه فوکوس کاربید سیلیکون جامد در چندین جنبه از سیلیکون سنتی بهتر عمل می کند، از جمله:

(1) چگالی بالا که نرخ اچ را به حداقل می رساند.

(2) شکاف باند برتر و خواص عایق عالی.

(3) هدایت حرارتی استثنایی، ضریب انبساط حرارتی کم و مقاومت در برابر شوک حرارتی.

(4) کشش بالا همراه با مقاومت عالی در برابر ضربه های مکانیکی.

(5) سختی برجسته، مقاومت در برابر سایش و مقاومت در برابر خوردگی.

رسانایی و مقاومت کاربید سیلیکون در برابر حکاکی یونی شبیه به سیلیکون است و حلقه تمرکز کاربید سیلیکون جامد را به ماده ای ایده آل برای این کاربرد تبدیل می کند.

حلقه متمرکز کاربید سیلیکون جامد Semicorex به عنوان یک راه حل پیشرفته در حوزه تولید نیمه هادی ها ایستاده است. از خواص منحصر به فرد CVD SiC برای تسهیل فرآیندهای حکاکی قابل اعتماد و با کارایی بالا استفاده می کند و به طور قابل توجهی به پیشرفت فناوری نیمه هادی کمک می کند.