لوله با پوشش TaC

قدرت لوله Semicorex TaC Coated در ترکیب هم افزایی مواد پایه و پوشش تخصصی نهفته است:

پایه گرافیت ایزوتروپیک با خلوص بالا:هسته لوله پوشش دار TaC از گرافیت ایزوتروپیک با خلوص فوق العاده بالا تشکیل شده است که به دلیل هدایت حرارتی عالی، انبساط حرارتی کم و مقاومت ذاتی در برابر شوک حرارتی مشهور است. این فونداسیون یک پلت فرم قوی و پایدار را فراهم می کند که قادر به مقاومت در برابر نوسانات سریع دما و بارهای حرارتی بالا مشخصه پردازش نیمه هادی است.

کاربید تانتالیوم---سپر دوام و بی اثری:پوشش TaC اعمال شده با CVD، بستر گرافیت را تغییر می دهد و سختی استثنایی، مقاومت در برابر سایش و بی اثری شیمیایی را ایجاد می کند. این لایه محافظ به عنوان یک مانع در برابر گازهای مهاجم، پلاسما و گونه های واکنشی که در طول ساخت نیمه هادی با آن مواجه می شوند، عمل می کند و یکپارچگی ساختاری و طول عمر لوله را تضمین می کند.

این ترکیب مواد منحصر به فرد به طیف وسیعی از مزایایی تبدیل می شود که برای ساخت نیمه هادی های پیشرفته حیاتی است:

مقاومت بی نظیر در برابر دما:TaC دارای یکی از بالاترین نقطه ذوب در بین تمام مواد شناخته شده است که حتی از کاربید سیلیکون (SiC) پیشی می گیرد. این مقاومت در برابر دمای شدید به لوله پوشش داده شده TaC اجازه می دهد تا در فرآیندهایی که به دمای بیش از 2500 درجه سانتیگراد نیاز دارند، به طور قابل اعتماد عمل کند و تولید نسل بعدی دستگاه های نیمه هادی با بودجه حرارتی بسیار بالا را ممکن می سازد.

خلوص فوق العاده بالا برای کنترل فرآیند بحرانی:حفظ محیط های فرآیندی بکر در ساخت نیمه هادی ها بسیار مهم است. استفاده از گرافیت با خلوص بالا و فرآیند پوشش دقیق CVD، حداقل خروج گاز یا تولید ذرات را از لوله پوشش داده شده TaC تضمین می‌کند و از آلودگی‌هایی که می‌تواند سطوح حساس ویفر و عملکرد دستگاه را به خطر بیندازد، جلوگیری می‌کند.

مقاومت شیمیایی تزلزل ناپذیر:بی اثری شیمیایی لوله پوشش داده شده TaC مقاومت استثنایی در برابر طیف گسترده ای از گازهای خورنده، یون های واکنش پذیر و محیط های پلاسما که معمولاً در فرآیندهای نیمه هادی مانند اچینگ، رسوب گذاری و بازپخت استفاده می شوند، ایجاد می کند. این پایداری شیمیایی قوی به افزایش طول عمر لوله، کاهش نیازهای تعمیر و نگهداری و کاهش هزینه کلی مالکیت منجر می شود.

دوام مکانیکی افزایش یافته برای عمر طولانی تر:نیروی پیوند قوی بین پوشش TaC و بستر گرافیت، همراه با سختی ذاتی لوله پوشش داده شده TaC، مقاومت استثنایی در برابر سایش، فرسایش و استرس مکانیکی ایجاد می کند. این دوام افزایش یافته به عمر طولانی تر و کاهش زمان خرابی برای جایگزینی، بهبود کارایی و توان عملیاتی منجر می شود.