گیرنده ویفر با پوشش TaC

Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor یک جزء حیاتی است که در کوره‌های رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی (MOCVD) برای پردازش نیمه هادی همپایی (epi) استفاده می‌شود. این گیره گرد تخصصی از مواد گرافیت با کیفیت بالا ساخته شده و دارای پوشش منحصر به فرد کاربید تانتالم (TaC) است.

هدف اصلی پوشش TaC افزایش عملکرد و دوام گیرنده ویفر با پوشش TaC در طول شرایط سخت فرآیندهای ساخت نیمه هادی است. کاربید تانتالیوم به دلیل سختی استثنایی، نقطه ذوب بالا و مقاومت در برابر سایش و خوردگی شناخته شده است. این ویژگی‌ها باعث می‌شود که TaC Coated Wafer Susceptor برای محافظت از گیرنده گرافیت زیرین در برابر واکنش‌های شیمیایی و تنش‌های فیزیکی که در کوره MOCVD رخ می‌دهد، گزینه ایده‌آلی باشد.

TaC Coated Wafer Susceptor با تسهیل رسوب لایه های نازک بر روی ویفرها نقش حیاتی در رشد همپایی مواد نیمه هادی ایفا می کند. توانایی آن در تحمل دماهای بالا و محیط های شیمیایی خشن برای دستیابی به تولید دقیق و قابل اعتماد دستگاه های نیمه هادی بسیار مهم است.

TaC Coated Wafer Susceptor، با هسته گرافیتی و پوشش کاربید تانتالیوم، توزیع گرما یکنواخت و یکنواخت را تضمین می کند و به تکرارپذیری و کیفیت لایه های نیمه هادی رشد یافته در طول فرآیند MOCVD کمک می کند. این ترکیب مواد پیشرفته، آن را به یک راه حل قابل اعتماد و بادوام برای تولید نیمه هادی تبدیل می کند که نیازهای سختگیرانه تولید دستگاه های الکترونیکی مدرن را برآورده می کند.