صفحه سیاره ای پوشش TaC

Semicorex TaC Coating Planetary Plate یک جزء با کارایی بالا است که به طور خاص برای سیستم های MOCVD طراحی شده است. این صفحه سیاره ای پوشش TaC که برای دوام و پایداری حرارتی بهینه طراحی شده است، برای اطمینان از رسوب یکنواخت و رشد فیلم با کیفیت بالا در فرآیندهای تولید نیمه هادی ضروری است.

صفحه سیاره ای پوشش TaC از کاربید تانتالیوم با عیار بالا ساخته شده است که به دلیل سختی استثنایی، رسانایی حرارتی و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی شناخته شده است و عمر مفید طولانی مدت و عملکرد ثابت در شرایط دمای بالا را تضمین می کند. پایداری حرارتی فوق‌العاده کاربید تانتالم تضمین می‌کند که صفحه می‌تواند در برابر دماهای شدیدی که در طی فرآیندهای MOCVD با آن مواجه می‌شوند مقاومت کند و یکپارچگی ساختاری و سازگاری عملکرد را حفظ کند.

مناسب برای انواع کاربردهای MOCVD، از جمله رسوب گذاری نیمه هادی های III-V، نیتریدها، اکسیدها و سایر مواد ترکیبی. طراحی صفحه سیاره‌ای پوشش TaC پیکربندی‌های مختلف راکتور و اندازه‌های زیرلایه را در خود جای می‌دهد و انعطاف‌پذیری را برای نیازهای مختلف تولید فراهم می‌کند.

برای دستیابی به قابلیت اطمینان و کارایی بی نظیر در فرآیندهای نیمه هادی خود، روی صفحه سیاره ای پوشش Semicorex TaC سرمایه گذاری کنید. طراحی شده با در نظر گرفتن خواسته های تولید نیمه هادی، به عنوان گواهی بر مهندسی پیشرفته و علم مواد است.