حلقه پوشیده شده با کاربید تانتالوم Semicorex یک جزء حیاتی است که در پردازش نیمه هادی استفاده می شود. این با یک پوشش تخصصی طراحی شده است که عملکردهای متعددی را برای افزایش کارایی و طول عمر اجزای گرافیت در ماشین آلات نیمه هادی انجام می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
حلقه پوشیده شده با کاربید تانتالوم Semicorex یک جزء حیاتی است که در پردازش نیمه هادی استفاده می شود. این با یک پوشش تخصصی طراحی شده است که عملکردهای متعددی را برای افزایش کارایی و طول عمر اجزای گرافیت در ماشین آلات نیمه هادی انجام می دهد. این پوشش TaC برای مقاومت در برابر شرایط شدید و حفظ عملکرد بهینه در محیطهای با دمای بالا طراحی شده است و عملکرد قابل اعتماد را حتی در دمای بیش از 2200 درجه سانتیگراد تضمین میکند.
ویژگی ها و مزایای کلیدی حلقه پوشش دار کاربید تانتالوم عبارتند از:
طول عمر طولانی: وظیفه اصلی پوشش روی حلقه پوشش داده شده با کاربید تانتالم، افزایش طول عمر اجزای گرافیت با ایجاد یک سد محافظ در برابر واکنش های شیمیایی، جلوگیری از مهاجرت ناخالصی ها به لایه های بیرونی و رشد کریستال است. این به طور قابل توجهی طول عمر عملیاتی را افزایش می دهد و فرکانس تعمیر و نگهداری را کاهش می دهد.
پایداری دما: پایداری دمایی فوقالعاده، حلقه پوششداده شده با کاربید تانتالم را قادر میسازد تا تحت شرایط گرمای شدید بهطور قابلاطمینانی عمل کند و عملکرد ثابت را در محیطهای پردازش نیمهرسانا که در آن دماهای بالا رایج است، تضمین میکند.
مقاومت شیمیایی: پوشش روی حلقه پوشیده شده با کاربید تانتالم در برابر مواد شیمیایی سخت مانند هیدروژن (H2)، آمونیاک (NH3)، سیلان (SiH4) و سیلیکون (Si) مقاومت ارائه میکند و حفاظت بسیار مهمی را در محیطهای شیمیایی تهاجمی که معمولاً در نیمهرساناها با آن مواجه میشوند، ارائه میکند. فرآیندهای ساخت
مقاومت در برابر شوک حرارتی: افزایش مقاومت در برابر شوک حرارتی حلقه پوشش داده شده با کاربید تانتالم، خطر آسیب ساختاری را در طول نوسانات سریع دما به حداقل می رساند، در نتیجه چرخه های عملیاتی را تسریع می بخشد و کارایی کلی را بهبود می بخشد.
چسبندگی قوی به گرافیت: پوشش روی حلقه پوشیده شده با کاربید تانتالم چسبندگی قوی به زیرلایه های گرافیت نشان می دهد و از مشکلات لایه لایه شدن معمولاً با پوشش ها جلوگیری می کند. این کار طول عمر طولانی و عملکرد ثابت را بدون خطر جدا شدن پوشش تضمین می کند.
خلوص بالا: با سطوح خلوص فوق العاده بالا، حلقه پوشش داده شده با کاربید تانتالم به از بین بردن ناخالصی ها یا آلاینده های غیرضروری کمک می کند، یکپارچگی و تمیزی پردازش نیمه هادی را تضمین می کند، بنابراین به بازده بالاتر و نتایج کیفیت بهتر کمک می کند.