حلقه با روکش کاربید تانتالیوم

حلقه پوشیده شده با کاربید تانتالوم Semicorex یک جزء حیاتی است که در پردازش نیمه هادی استفاده می شود. این با یک پوشش تخصصی طراحی شده است که عملکردهای متعددی را برای افزایش کارایی و طول عمر اجزای گرافیت در ماشین آلات نیمه هادی انجام می دهد. این پوشش TaC برای مقاومت در برابر شرایط شدید و حفظ عملکرد بهینه در محیط‌های با دمای بالا طراحی شده است و عملکرد قابل اعتماد را حتی در دمای بیش از 2200 درجه سانتیگراد تضمین می‌کند.

ویژگی ها و مزایای کلیدی حلقه پوشش دار کاربید تانتالوم عبارتند از:

طول عمر طولانی: وظیفه اصلی پوشش روی حلقه پوشش داده شده با کاربید تانتالم، افزایش طول عمر اجزای گرافیت با ایجاد یک سد محافظ در برابر واکنش های شیمیایی، جلوگیری از مهاجرت ناخالصی ها به لایه های بیرونی و رشد کریستال است. این به طور قابل توجهی طول عمر عملیاتی را افزایش می دهد و فرکانس تعمیر و نگهداری را کاهش می دهد.

پایداری دما: پایداری دمایی فوق‌العاده، حلقه پوشش‌داده‌شده با کاربید تانتالم را قادر می‌سازد تا تحت شرایط گرمای شدید به‌طور قابل‌اطمینانی عمل کند و عملکرد ثابتی را در محیط‌های پردازش نیمه‌رسانا که در آن دماهای بالا رایج است، تضمین کند.

مقاومت شیمیایی: پوشش روی حلقه پوشیده شده با کاربید تانتالم در برابر مواد شیمیایی خشن مختلف مانند هیدروژن (H2)، آمونیاک (NH3)، سیلان (SiH4) و سیلیکون (Si) مقاومت ارائه می‌کند و محافظت بسیار مهمی را در محیط‌های شیمیایی تهاجمی که معمولاً در نیمه‌رساناها با آن مواجه می‌شوند، ارائه می‌کند. فرآیندهای ساخت

مقاومت در برابر شوک حرارتی: افزایش مقاومت در برابر شوک حرارتی حلقه پوشش داده شده با کاربید تانتالم، خطر آسیب ساختاری را در طول نوسانات سریع دما به حداقل می رساند، در نتیجه چرخه های عملیاتی را تسریع می بخشد و کارایی کلی را بهبود می بخشد.

چسبندگی قوی به گرافیت: پوشش روی حلقه پوشیده شده با کاربید تانتالم چسبندگی قوی به زیرلایه‌های گرافیت نشان می‌دهد و از مشکلات لایه‌پوشی که معمولاً با پوشش‌ها مرتبط است جلوگیری می‌کند. این کار طول عمر طولانی و عملکرد ثابت را بدون خطر جدا شدن پوشش تضمین می کند.

خلوص بالا: با سطوح خلوص فوق العاده بالا، حلقه پوشش داده شده با کاربید تانتالم به از بین بردن ناخالصی ها یا آلاینده های غیرضروری کمک می کند، یکپارچگی و تمیزی پردازش نیمه هادی را تضمین می کند، بنابراین به بازده بالاتر و نتایج کیفیت بهتر کمک می کند.