بوته کاربید تانتالیوم

بوته کاربید تانتالیوم Semicorex با دقت از گرافیت ساخته شده است، که سپس با کاربید تانتالم (TaC) پوشانده می شود، ترکیبی که عملکرد عالی را در محیط با دمای بالا و تقاضای شیمیایی رشد کریستال SiC ارائه می دهد.

کاربید تانتالیوم یک ماده سرامیکی نسوز است که به دلیل سختی استثنایی، مقاومت شیمیایی و توانایی حفظ یکپارچگی ساختاری در دماهای بسیار بالا شناخته شده است. با پوشاندن بوته گرافیتی با TaC، بوته کاربید تانتالیوم این خواص مفید را به ارث می برد و به طور قابل توجهی عملکرد و طول عمر آن را افزایش می دهد. پوشش TaC به عنوان یک مانع محافظ عمل می کند و از واکنش گرافیت با مواد SiC یا سایر گازهای موجود در طول فرآیند رشد جلوگیری می کند. این تضمین می کند که بوته یکپارچگی خود را حفظ می کند و هیچ آلاینده ای که می تواند کیفیت کریستال های SiC را به خطر بیندازد وارد نمی کند.

بوته کاربید تانتالوم توانایی عملکرد در دماهای بالا برای رشد کریستال SiC را دارد. بلورهای SiC معمولاً در دمای بیش از 2000 درجه سانتیگراد رشد می کنند و حفظ چنین دماهای بالا به طور مداوم برای تولید کریستال های با کیفیت بسیار مهم است. بوته گرافیتی با پوشش TaC می تواند در این شرایط شدید بدون تغییر شکل یا تخریب مقاومت کند و محیطی پایدار برای فرآیند رشد کریستال فراهم کند. این پایداری برای دستیابی به اندازه کریستال، خلوص و خواص ساختاری مورد نیاز برای کاربردهای نیمه هادی ضروری است.

بوته کاربید تانتالوم دارای مقاومت شیمیایی قوی است که آنها را برای رشد کریستال SiC ضروری می کند. در طول فرآیند رشد، گازهای مختلف و گونه‌های فعال برای کمک به تشکیل بلورهای SiC معرفی می‌شوند. این محیط ها می توانند به شدت خورنده باشند و یکپارچگی ساختاری بوته را در معرض خطر قرار دهند. پوشش TaC به طور موثری از گرافیت در برابر این عناصر خورنده محافظت می کند و تضمین می کند که بوته در طول فرآیند دست نخورده و عملکردی باقی می ماند. این مقاومت در برابر حمله شیمیایی نه تنها عمر بوته را افزایش می دهد، بلکه به کارایی کلی و مقرون به صرفه بودن عملیات رشد کریستال کمک می کند.