حلقه های شکافدار پلی سی

حلقه های شکافدار Poly-Si معمولاً در محفظه واکنش تجهیزات پیشرفته اچینگ نیمه هادی نصب می شوند. آنها با قطعات سیلیکونی از جمله سیلیکون به صورت هم افزایی عمل می کنندحلقه های فوکوس، حلقه های بیرونی سیلیکونی و سیلیکونسر دوش. این قطعات می توانند یک محیط واکنش پایدار و بهینه برای فرآیند اچ ایجاد کنند و از عملکرد عالی اطمینان حاصل کنندحکاکی کردندقت و سازگاری فرآیند

توابع حلقه های شکافدار Semicorex poly-Si

1. حلقه‌های شکاف‌دار Semicorex poly-Si مجهز به شکاف‌های متعددی هستند که به طور یکنواخت توزیع شده‌اند که به عنوان گذرگاه گاز عمل می‌کنند، که اجازه می‌دهد گازهای فرآیند پس از واکنش خارج شوند.

2. حلقه های شکافدار Semicorex poly-Si قادر به دستیابی به کنترل عالی پلاسما هستند و محافظت قابل اعتمادی را برای محفظه واکنش تجهیزات اچینگ نیمه هادی ارائه می دهند.

3. حلقه‌های شکاف‌دار Semicorex poly-Si می‌توانند به تنظیم میدان الکتریکی و فشار محفظه کمک کنند، بنابراین از تأثیر ناپایداری بر قوام فرآیند اچ جلوگیری می‌کنند.

انتخاب مواد با استاندارد بالا

حلقه های شکافدار Semicorex poly-Si از سیلیکون پلی کریستالی با کیفیت بالا با سطح خلوص بیش از 99.9999% تولید می شوند که به آنها خواص برتری به شرح زیر می بخشد.

1. خلوص فوق العاده بالا و محتوای ناخالصی بسیار کم.

2. مقاومت در برابر خوردگی پلاسما استثنایی.

3. خواص الکتریکی مطلوب، با یکنواختی مقاومت: RRG ≤ 5٪، وضوح کم. (<0.02)، رز متوسط. (1-4)، و وضوح بالا. (70-90).

قابلیت های تولید و کنترل کیفیت

Semicorex با تجهیزات ماشینکاری پیشرفته و تیم فنی مجرب، به شدت هر فرآیند تولید را کنترل می کند و حلقه های شکاف پلی Si با کیفیت بالا و همسان را به مشتریان گرامی ارائه می دهد. علاوه بر این، Semicorex کنترل دقیقی را بر روی اندازه‌گیری ابعاد، تست مقاومت و بازرسی بصری روی حلقه‌های شکافدار نهایی پلی-Si انجام می‌دهد تا از عیب‌هایی مانند بریدگی، خراش، ترک و لکه اطمینان حاصل کند.