محصولات

گیرنده‌های سیاره‌ای با پوشش SiC Semicorex اجزای نگهدارنده گرافیت با دقت بالا هستند که با یک پوشش متراکم کاربید سیلیکون پوشانده شده‌اند که به‌ویژه برای تجهیزات پیشرفته MOCVD مهندسی شده‌اند. آنها می توانند جریان گاز و توزیع حرارتی یکنواخت را فعال کنند، بنابراین به ایجاد یک محیط همپایی بهینه کمک می کنند.

قایق‌های ویفر سرامیکی Semicorex SiC محلول‌های کاربید سیلیکون با کارایی بالا هستند که برای پشتیبانی و حمل و نقل ایمن ویفرها در طول ساخت نیمه‌رساناهای پیشرفته طراحی شده‌اند. به لطف این مزایای عالی، آنها برای فرآیندهای دقیق تولید نیمه هادی در دمای بالا مانند فرآیندهای اکسیداسیون، انتشار و CVD مناسب هستند.

دیسک های انحراف گاز با پوشش SiC Semicorex اجزای گرافیت ضروری هستند که در تجهیزات اپیتاکسیال نیمه هادی به کار می روند که به طور خاص برای تنظیم جریان گاز واکنش و ترویج توزیع یکنواخت گاز در داخل محفظه واکنش مهندسی شده اند. Semicorex را انتخاب کنید، راه حل های بهینه انحراف گاز را برای نتایج اپیتاکسیال ویفر با کیفیت بالا انتخاب کنید.

Semicorex SiC Wafer Carrier از سرامیک کاربید سیلیکون با خلوص بالا، از طریق فناوری چاپ سه بعدی ساخته شده است، به این معنی که می تواند در مدت زمان کوتاهی به اجزای ماشینکاری با ارزش بالا دست یابد. به نظر می رسد Semicorex محصولات با کیفیت بالا را به مشتریان خود در سطح جهانی ارائه می دهد.*

حلقه های جامد CVD SiC Semicorex اجزای حلقه ای شکل با عملکرد بالا هستند که عمدتاً در محفظه های واکنش تجهیزات اچ پلاسما در صنعت نیمه هادی پیشرفته استفاده می شوند. حلقه های جامد CVD SiC Semicorex تحت انتخاب مواد و کنترل کیفیت دقیق قرار می گیرند و خلوص مواد بی نظیر، مقاومت در برابر خوردگی پلاسما استثنایی و عملکرد عملیاتی ثابت را ارائه می دهند.

Semicorex SiC Seals قطعات مکانیکی با کارایی بالا هستند که برای ایجاد مقاومت در برابر سایش، پایداری حرارتی و بی اثری شیمیایی جهانی در سخت‌ترین محیط‌های تجهیزات دوار طراحی شده‌اند. Semicorex یک ارائه دهنده حرفه ای مواد سرامیکی SiC است که می تواند محصولات با دقت بالا را برای مشتریان جهانی عرضه کند.*