دیسک های انحراف گاز با پوشش SiC

Semicorex به عنوان نمونه ای عالی از مواد پیشرفته نیمه هادی و فناوری های ساخت پیشرفتهبا پوشش SiCدیسک‌های انحراف گاز دقیقاً از گرافیت با خلوص بالا به عنوان ماتریس‌هایشان با پوشش SiC متراکم از طریق رسوب بخار شیمیایی ساخته می‌شوند. دیسک‌های انحراف گاز عمدتاً برای توزیع گاز واکنش به طور یکنواخت در سطح ویفر طراحی شده‌اند تا از واکنش‌های کامل در طول پردازش اطمینان حاصل کنند، بنابراین تشکیل لایه‌های نازک تک کریستالی ثابت و یکنواخت را تسهیل می‌کنند.

مزایای دیسک های انحراف گاز با پوشش SiC Semicorex

1. خلوص مواد بالا

Semicorex از استانداردهای دقیق کیفیت محصول که از انتخاب دقیق مواد شروع می شود، حمایت می کند. به لطف این کنترل دقیق خلوص مواد خام، دیسک‌های انحراف گاز با پوشش SiC Semicorex محتوای ناخالصی پایینی را ارائه می‌کنند و از تمیزی فوق‌العاده برخوردار هستند. این می تواند به طور قابل توجهی از یون های فلزی و سایر آلاینده ها از به خطر انداختن فرآیندهای اپیتاکسیال نیمه هادی جلوگیری کند.

2. پایداری حرارتی برتر

اجزای مورد استفاده در این سیستم ها باید پایداری حرارتی استثنایی داشته باشند زیرا تجهیزات نیمه هادی اپیتاکسیال معمولاً در دماهای بالاتر از 1400 درجه سانتیگراد کار می کنند. این پایداری حرارتی استثنایی می‌تواند تضمین کند که دیسک‌های انحراف گاز با پوشش SiC Semicorex در برابر شرایط عملیاتی چالش برانگیز در دمای بالا مقاومت می‌کنند و می‌توانند به طور موثر از انتشار ناخالصی ناشی از دمای بالا در حین کار جلوگیری کنند، که به تضمین کیفیت و عملکرد ویفرهای اپیتاکسیال کمک می‌کند.

3. مقاومت در برابر خوردگی درجه حرارت بالا قابل توجه

ماتریس‌های گرافیتی محافظت نشده مستعد خوردگی و تولید ذرات هستند، به همین دلیل است که دیسک‌های انحراف گاز معمولاً با یک پوشش کاربید سیلیکون پردازش می‌شوند تا مقاومت در برابر خوردگی آنها افزایش یابد. دیسک‌های انحراف گاز با پوشش SiC Semicorex که با یک پوشش SiC متراکم پوشانده شده‌اند، مقاومت عالی در برابر اکسیداسیون و خوردگی شیمیایی دارند که به آنها امکان می‌دهد در طول عمر طولانی، حتی در شرایط عملیاتی چالش برانگیز در دمای بالا و خورنده، به طور پیوسته عمل کنند.

4. قابلیت های سفارشی سازی انعطاف پذیر

Semicorex مجهز به چندین تجهیزات پردازش پیشرفته، مانند تجهیزات ماشینکاری CNC، ماشین‌های سنگ‌زنی سطحی، و تجهیزات حفاری اولتراسونیک است که قابلیت‌های پردازش با تجربه را ارائه می‌دهد. Semicorex می‌تواند خدمات سفارشی‌سازی انعطاف‌پذیر را با توجه به نقشه‌های مشتری ارائه دهد و ابعاد، تلورانس‌ها، صافی سطح، قطر سوراخ‌ها و فاصله‌های سوراخ‌های دیسک‌های انحراف گاز با پوشش SiC را برای اطمینان از سازگاری یکپارچه با تجهیزات اپیتاکسیال مشتریان تنظیم کند.