گیرنده های سیاره ای با پوشش SiC

گیره‌های سیاره‌ای با پوشش Semicorex SiC جزء حمایت‌کننده ضروری هستند که برای رشد هم‌رسانی نیمه‌رسانا در تجهیزات Aixtron G2 طراحی شده‌اند، که در آن‌ها قادر به پشتیبانی ایمن از ویفرها و چرخش در یک حرکت سیاره‌ای هستند. به این ترتیب، یکنواختی حرارتی دقیق و توزیع یکنواخت گاز در سراسر سطح ویفر را می توان با موفقیت به دست آورد، که منجر به رسوب لایه اپیتاکسیال با کیفیت عالی بر روی ویفرها می شود.

مزایای گیرنده های سیاره ای پوشش داده شده با SiC Semicorex

1. طراحی جیب چند ویفر

Semicorex با پوشش SiCگیرنده های سیاره ایدارای توزیع یکنواخت چندین جیب ویفر با ابعاد دقیق کنترل شده است. این جیب‌های ویفر می‌توانند بسترهای ویفر را در طول فرآیند رشد اپیتاکسیال محکم نگه دارند، که می‌تواند به طور موثر تغییرات فرآیند همپایی ناشی از حرکت ناخواسته بسترهای ویفر را به حداقل برساند. علاوه بر این، این طراحی پاکت چند ویفری به چندین بستر ویفر اجازه می دهد تا به طور همزمان در یک فرآیند واحد رسوب دهی شوند و کارایی کلی فرآیند رشد همپایی را تا حد زیادی بهبود بخشد.

2. چیدمان سوراخ جریان گاز بهینه شده

Semicorex مجموعه ای از کانال های جریان گاز را که به دقت مهندسی شده اند را در خود گنجانده استSiC-caotedگیرنده های سیاره ای، که بهینه سازی دینامیک جریان گاز و یکنواختی حرارتی را در سراسر سطح ویفر در طول فرآیند همپایی بهبود می بخشد. این طراحی متفکرانه کنترل دقیقی بر نرخ جریان و توزیع گاز در داخل محفظه واکنش را امکان پذیر می کند، که برای دستیابی به لایه های نازک با کیفیت بالا، ضخامت لایه یکنواخت و عملکرد کلی دستگاه قابل اعتماد ضروری است.

3. تمیزی فوق العاده بالا

گیرنده های سیاره ای پوشش داده شده با SiC Semicorex با مواد با خلوص فوق العاده بالا و سطوح ناخالصی بسیار کم تولید می شوند که به طور کامل الزامات تمیزی دقیق ساخت نیمه هادی ها را برآورده می کنند. آنها به طور موثر آلودگی ویفر ناشی از گازهای فلزی را حتی در شرایط دمای بالا و خورنده معمولی فرآیندهای همپایی به حداقل می‌رسانند.

4. عمر طولانی مدت

کنترل کیفیت Semicorex با انتخاب دقیق ما از مواد خام آغاز می شود. گیرنده‌های سیاره‌ای با پوشش SiC به دقت از گرافیت نیمه‌رسانا و کاربید سیلیکون ساخته شده‌اند که مقاومت عالی در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی را ارائه می‌دهند و باعث می‌شوند تا کاملاً در برابر شرایط عملیاتی چالش‌برانگیز با دمای بالا و بسیار خورنده مقاومت کنند. با این خواص مواد عالی، گیرنده‌های سیاره‌ای با پوشش SiC Semicorex می‌توانند عملکرد و یکپارچگی ساختاری خود را حفظ کنند و از آسیب سطح و کاهش عملکرد در اتاق‌های واکنش با دمای بالا و خوردگی بالا جلوگیری کنند، که در نتیجه عمر مفید گیرنده‌های سیاره‌ای با پوشش SiC را تا حد زیادی افزایش می‌دهد.