قطعات SiC بخش هایی را پوشش می دهند

Semicorex SiC Parts Abdeck Segmenten دارای طراحی پیشرفته ای است که هسته آن از گرافیت با پوشش SiC ساخته شده است. این ترکیب نه تنها رسانایی حرارتی عالی را تضمین می‌کند، بلکه مقاومت استثنایی در برابر دماهای بالا و محیط‌های خورنده را نیز تضمین می‌کند و آن را به گزینه‌ای ایده‌آل برای فرآیندهای تولید نیمه‌رسانا تبدیل می‌کند.

پوشش SiC بر روی بستر گرافیت راندمان حرارتی را افزایش می دهد و امکان انتقال گرما کارآمد را در طول پردازش فراهم می کند. این ویژگی در حفظ پروفیل های دمایی ثابت در سرتاسر ویفرهای نیمه هادی بسیار مفید است و در نهایت منجر به بهبود عملکرد کلی و عملکرد دستگاه می شود.

قطعات SiC Abdeck Segmenten برای مقاومت در برابر شرایط سخت تولید نیمه هادی ساخته شده اند. ساختار قوی آنها عملکرد قابل اعتماد را تضمین می کند، خطر خرابی را کاهش می دهد و طول عمر اجزای حیاتی را در خط تولید افزایش می دهد.

بخش های گرافیتی با پوشش SiC برای سازگاری با تنظیمات مختلف تولید نیمه هادی طراحی شده اند. سازگاری آنها با محیط های مختلف پردازش، تطبیق پذیری را به فرآیندهای تولید شما می افزاید و امکان ادغام یکپارچه با سیستم های موجود را فراهم می کند.