صفحه دیسک ستاره پوشش MOCVD برای اپیتاکسی ویفر

Semicorex یک تولید کننده و تامین کننده مشهور صفحه دیسک ستاره پوشش دار MOCVD با کیفیت بالا برای ویفر اپیتاکسی است. محصول ما به طور ویژه برای پاسخگویی به نیازهای صنعت نیمه هادی، به ویژه در رشد لایه اپیتاکسیال روی تراشه ویفر طراحی شده است. سوسپتور ما به عنوان صفحه مرکزی در MOCVD، با طراحی چرخ دنده یا حلقه ای استفاده می شود. این محصول در برابر حرارت و خوردگی بالا بسیار مقاوم است و برای استفاده در محیط های شدید ایده آل است.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

صفحه دیسک ستاره پوششی MOCVD ما برای ویفر اپیتاکسی محصولی عالی است که پوشش روی تمام سطوح را تضمین می کند، بنابراین از پوسته شدن جلوگیری می کند. دارای مقاومت اکسیداسیون در دمای بالا است که پایداری را حتی در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد تضمین می کند. این محصول با خلوص بالا از طریق رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا ساخته می شود. سطحی متراکم با ذرات ریز دارد که آن را در برابر خوردگی ناشی از اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی بسیار مقاوم می کند.
صفحه دیسک ستاره پوششی MOCVD ما برای اپیتاکسی ویفر بهترین الگوی جریان گاز آرام را تضمین می کند و یکنواختی پروفیل حرارتی را تضمین می کند. از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری می کند و رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا را روی تراشه ویفر تضمین می کند. محصول ما قیمت رقابتی دارد و باعث می شود مشتریان زیادی در دسترس باشند. ما بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهیم و تیم ما به ارائه خدمات و پشتیبانی عالی به مشتریان اختصاص دارد. ما در تلاش هستیم تا در ارائه صفحه دیسک ستاره پوششی MOCVD با کیفیت بالا و قابل اعتماد برای ویفر اپیتاکسی شریک طولانی مدت شما باشیم.

پارامترهای صفحه دیسک ستاره پوشش MOCVD برای اپیتاکسی ویفر

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300

ویژگی های MOCVD Cover Star Disc Plate for Wafer Epitaxy

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید