MOCVD Susceptor برای رشد اپیتاکسیال

Semicorex تامین کننده و سازنده پیشرو MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth است. محصول ما به طور گسترده در صنایع نیمه هادی استفاده می شود، به ویژه در رشد لایه اپیتاکسیال روی تراشه ویفر. سوسپتور ما برای استفاده به عنوان صفحه مرکزی در MOCVD با طراحی چرخ دنده یا حلقه ای طراحی شده است. این محصول دارای مقاومت بالایی در برابر حرارت و خوردگی است که آن را در محیط های شدید پایدار می کند.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

یکی از مزایای MOCVD Susceptor ما برای رشد اپیتاکسیال، توانایی آن برای اطمینان از پوشش روی تمام سطوح، جلوگیری از کنده شدن است. این محصول دارای مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا است که پایداری در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد را تضمین می کند. خلوص بالای محصول ما از طریق رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا به دست می آید. سطح متراکم با ذرات ریز تضمین می کند که محصول در برابر خوردگی ناشی از اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی بسیار مقاوم است.
گیرنده MOCVD ما برای رشد همپایی برای دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده است و از یکنواختی پروفیل حرارتی اطمینان حاصل می کند. این به جلوگیری از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها کمک می کند و از رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا بر روی تراشه ویفر اطمینان می دهد.
امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد MOCVD Susceptor برای رشد همپایی بیشتر بدانید.

پارامترهای گیرنده MOCVD برای رشد اپیتاکسیال

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز β FCC
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	میکرومتر	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت حرارتی	J kg-1 K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (4pt خم، 1300℃)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
هدایت حرارتی	(W/mK)	300

ویژگی های MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید