گیرنده MOCVD با پوشش SiC

Semicorex تولید کننده و تامین کننده پیشرو MOCVD Susceptor با پوشش SiC است. محصول ما به طور ویژه برای صنایع نیمه هادی طراحی شده است تا لایه اپیتاکسیال روی تراشه ویفر رشد کند. حامل گرافیت با روکش سیلیکون کاربید با خلوص بالا به عنوان صفحه مرکزی در MOCVD با طراحی چرخ دنده یا حلقه ای شکل استفاده می شود. susceptor ما به طور گسترده در تجهیزات MOCVD استفاده می شود و از مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا و پایداری عالی در محیط های شدید اطمینان می دهد.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

یکی از مهم‌ترین ویژگی‌های محافظ MOCVD با پوشش SiC ما این است که پوشش را بر روی تمام سطوح تضمین می‌کند و از جدا شدن آن جلوگیری می‌کند. این محصول دارای مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا است که در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد پایدار است. خلوص بالا با استفاده از رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا به دست می آید. این محصول دارای سطحی متراکم با ذرات ریز است که آن را در برابر خوردگی اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی بسیار مقاوم می کند.
گیرنده MOCVD با پوشش SiC ما بهترین الگوی جریان گاز آرام را تضمین می کند که یکنواختی مشخصات حرارتی را تضمین می کند. این به جلوگیری از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها کمک می کند و از رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا بر روی تراشه ویفر اطمینان می دهد. Semicorex مزیت قیمت رقابتی را ارائه می دهد و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. تیم ما به ارائه خدمات و پشتیبانی عالی به مشتریان اختصاص دارد. ما متعهد هستیم که شریک بلندمدت شما باشیم و محصولاتی با کیفیت بالا و قابل اعتماد ارائه کنیم تا به رشد کسب و کار شما کمک کنیم.

پارامترهای گیرنده MOCVD با پوشش SiC

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300

ویژگی های SiC Coated MOCVD Susceptor

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید