Semicorex یک تامین کننده و سازنده قابل اعتماد گیره گرافیت پوشش کاربید سیلیکون برای MOCVD است. محصول ما به طور ویژه برای برآوردن نیازهای صنعت نیمه هادی در رشد لایه اپیتاکسیال روی تراشه ویفر طراحی شده است. این محصول به عنوان صفحه مرکزی در MOCVD با طراحی چرخ دنده یا حلقه ای شکل استفاده می شود. مقاومت بالایی در برابر حرارت و خوردگی دارد و برای استفاده در محیط های شدید ایده آل است.
گیرنده گرافیت پوشش کاربید سیلیکون ما برای MOCVD دارای چندین ویژگی کلیدی است که آن را از رقبا متمایز می کند. این پوشش را بر روی تمام سطوح تضمین می کند، از پوسته شدن جلوگیری می کند، و دارای مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا است و پایداری را حتی در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد تضمین می کند. این محصول با خلوص بالا از طریق رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا ساخته می شود. سطحی متراکم با ذرات ریز دارد که آن را در برابر خوردگی اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی بسیار مقاوم می کند.
گیرنده گرافیت پوشش کاربید سیلیکون ما برای MOCVD برای دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده است و از یکنواختی پروفیل حرارتی اطمینان حاصل می کند. از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری می کند و رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا را روی تراشه ویفر تضمین می کند.
پارامترهای محافظ گرافیتی پوشش کاربید سیلیکون برای MOCVD
مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC |
||
ویژگی های SiC-CVD |
||
ساختار کریستالی |
فاز β FCC |
|
تراکم |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
اندازه دانه |
میکرومتر |
2 تا 10 |
خلوص شیمیایی |
% |
99.99995 |
ظرفیت حرارتی |
J kg-1 K-1 |
640 |
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
مدول یانگ |
Gpa (4pt خم، 1300℃) |
430 |
انبساط حرارتی (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
هدایت حرارتی |
(W/mK) |
300 |
ویژگی های محافظ گرافیتی پوشش کاربید سیلیکون برای MOCVD
- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید