گیرنده گرافیت با پوشش SiC برای MOCVD

Semicorex یک تولید کننده و تامین کننده گیره گرافیت با پوشش سیلیکون کاربید در چین در مقیاس بزرگ است. ما بر روی صنایع نیمه هادی مانند لایه های کاربید سیلیکون و نیمه هادی اپیتاکسی تمرکز می کنیم. گیرنده گرافیتی با پوشش SiC ما برای MOCVD مزیت قیمت خوبی دارد و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD یک حامل گرافیت با پوشش سیلیکون کاربید با خلوص بالا است که در فرآیند رشد لایه اپیکسیال روی تراشه ویفر استفاده می‌کند. این صفحه مرکزی در MOCVD، شکل چرخ دنده یا حلقه است. گیرنده گرافیتی با پوشش SiC برای MOCVD دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا است که در محیط های شدید پایداری زیادی دارد.
در Semicorex، ما متعهد به ارائه محصولات و خدمات با کیفیت بالا به مشتریان خود هستیم. ما فقط از بهترین مواد استفاده می کنیم و محصولات ما برای مطابقت با بالاترین استانداردهای کیفیت و عملکرد طراحی شده اند. گیرنده گرافیتی با پوشش SiC ما برای MOCVD از این قاعده مستثنی نیست. امروز با ما تماس بگیرید تا درباره اینکه چگونه می توانیم به شما در رفع نیازهای پردازش ویفر نیمه هادی کمک کنیم بیشتر بیاموزید.

پارامترهای گیرنده گرافیت با پوشش SiC برای MOCVD

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300

ویژگی های SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید