SiC MOCVD Cover Segment

Semicorex SiC MOCVD Cover Segment از ترکیبی هم افزایی از مواد انتخاب شده برای عملکرد آنها در دماهای شدید و در حضور پیش سازهای بسیار واکنش پذیر استفاده می کند. هسته هر بخش از آن ساخته شده استگرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا، دارای محتوای خاکستر زیر 5 پی پی ام است. این خلوص استثنایی خطرات آلودگی بالقوه را به حداقل می رساند و از یکپارچگی لایه های اپی SiC در حال رشد اطمینان حاصل می کند. به جز آن، دقیقاً اعمال می شودپوشش SiC رسوب بخار شیمیایی (CVD).یک سد محافظ بر روی بستر گرافیت تشکیل می دهد. این لایه با خلوص بالا (≥ 6N) مقاومت فوق العاده ای در برابر پیش سازهای تهاجمی که معمولا در اپیتاکسی SiC استفاده می شود، نشان می دهد.

ویژگی های کلیدی:

این ویژگی‌های مواد به مزایای ملموس در محیط سخت SiC MOCVD تبدیل می‌شوند:

انعطاف ناپذیر دما: استحکام ترکیبی بخش پوششی SiC MOCVD یکپارچگی ساختاری را تضمین می کند و از تاب برداشتن یا تغییر شکل حتی در دماهای شدید (اغلب بیش از 1500 درجه سانتیگراد) مورد نیاز برای اپیتاکسی SiC جلوگیری می کند.

مقاومت در برابر حملات شیمیایی: لایه CVD SiC به عنوان یک سپر قوی در برابر ماهیت خورنده پیش سازهای رایج اپیتاکسی SiC مانند سیلان و تری متیل آلومینیوم عمل می کند. این حفاظت یکپارچگی بخش پوششی SiC MOCVD را در استفاده طولانی مدت حفظ می کند، تولید ذرات را به حداقل می رساند و محیط فرآیند تمیزتر را تضمین می کند.

ارتقای یکنواختی ویفر: پایداری حرارتی ذاتی و یکنواختی بخش پوششی SiC MOCVD به توزیع یکنواخت‌تر مشخصات دمایی در سراسر ویفر در طول اپیتاکسی کمک می‌کند. این منجر به رشد همگن بیشتر و یکنواختی برتر لایه‌های اپی سی سی رسوب‌شده می‌شود.

لوازم کیت گیرنده Aixtron G5 Semicorex

مزایای عملیاتی:

فراتر از بهبود فرآیند، Semicorex SiC MOCVD Cover Segment مزایای عملیاتی قابل توجهی را ارائه می دهد:

عمر طولانی مدت: انتخاب مواد مستحکم و ساخت و ساز به طول عمر طولانی برای بخش های پوشش ترجمه می شود و نیاز به تعویض مکرر را کاهش می دهد. این امر زمان توقف فرآیند را به حداقل می رساند و به کاهش هزینه های عملیاتی کلی کمک می کند.

اپیتاکسی با کیفیت بالا فعال شده است: در نهایت، بخش پوششی پیشرفته SiC MOCVD مستقیماً به تولید لایه‌های SiC برتر کمک می‌کند و راه را برای دستگاه‌های SiC با کارایی بالاتر مورد استفاده در الکترونیک قدرت، فناوری RF و سایر برنامه‌های کاربردی هموار می‌کند.