پاروهای کنسول کاربید سیلیکون Semicorex اجزای سرامیکی با کارایی بالا هستند که به طور دقیق از مواد کاربید سیلیکون ساخته شده اند. به عنوان اجزای ضروری برای سیستم های بارگیری ویفر، پاروهای کنسول کاربید سیلیکون Semicorex وظایف پشتیبانی و حمل و نقل را در فرآیندهای تصفیه حرارتی نیمه هادی با دمای بالا بر عهده می گیرند. انتخاب Semicorex به این معنی است که محلول های سرامیکی بهینه را به دست خواهید آورد.
پاروهای کنسول کاربید سیلیکون Semicorex معمولاً با قایق های ویفر افقی در کوره های پردازش با دمای بالا استفاده می شوند. آنها می توانند از انتقال دقیق و روان قایق های ویفر به داخل و خارج از لوله های کوره اطمینان حاصل کنند و پشتیبانی قوی برای پایداری و بازده تولید نیمه هادی فراهم کنند. پاروهای کنسول کاربید سیلیکون Semicorex که به طور خاص برای تصفیه ویفر در دمای بالا طراحی شده اند، به طور پیوسته در حدود 1250 درجه سانتیگراد تحت یک فضای کاری سخت متشکل از اکسیژن (گاز واکنش)، نیتروژن (گاز محافظ) و مقدار کمی هیدروژن کلرید کار می کنند.
محصولات درجه یک متکی به مواد خام خوب هستند. Semicorex از مواد خام کاربید سیلیکون با خلوص بالا استفاده می کند تا اطمینان حاصل شود که پاروهای کنسول کاربید سیلیکون ما از کیفیت بالایی در سراسر صنعت برخوردار هستند. پایه های آنها از کاربید سیلیکون پیوند خورده واکنش با کیفیت بالا با محتوای ناخالصی کنترل شده زیر 100 ppm ساخته شده و سطوح آنها با یک پوشش CVD SiC پوشانده شده است که در آن ناخالصی ها کمتر از 1ppm نگهداری می شود. این ماده با استاندارد بالا که پاروهای کنسول کاربید سیلیکون Semicorex را می سازد، خواص بسیار خوبی را ارائه می دهد که در زیر ذکر شده است.
1. تمیزی فوق العاده بالا:نیمه کورکسکاربید سیلیکونپاروهای کنسول دارای خلوص بالا هستند و ناخالصی های ناخواسته را در حین کار آزاد نمی کنند و اساسا آلودگی ویفرها و کوره های پردازش را از بین می برند.
2. پایداری حرارتی پایدار:پاروهای کنسول کاربید سیلیکون Semicorex به طور قابل اعتمادی در دمای 1250 درجه سانتیگراد کار می کنند و در هنگام ورود و خروج از کوره، بدون هرگونه تغییر شکل یا ترک، تغییرات دمایی شدید را تحمل می کنند.
3. مقاومت مکانیکی برتر:پاروهای کنسول کاربید سیلیکون Semicorex دارای سختی و استحکام بالایی هستند و می توانند در طول عملیات فشار دادن و کشیدن مکرر سایش و خراش را تحمل کنند.
4. مقاومت در برابر خوردگی قابل اعتماد:نیمه کورکسپاروهای کنسول کاربید سیلیکونبه دلیل پایداری شیمیایی قابل توجه خود می توانند در برابر خوردگی شدید توسط قلیاها و اسیدهای قوی مقاومت کنند.
نیمه کورکساز فناوری چاپ سه بعدی یکپارچه برای تشکیل پاروهای کنسول کاربید سیلیکون استفاده می کند که به آنها اجازه می دهد از نقاط تنش ضعیف در اتصالات رها شوند و ظرفیت بار قابل اعتمادی را در حین کار ارائه دهند. همچنین از سفارشی سازی تمام بعدی پاروهای کنسول کاربید سیلیکون پشتیبانی می کند. پاروهای کنسول را می توان دقیقاً از نظر طول، ساختار و مشخصات رابط تنظیم کرد و برای مطابقت کامل با قطر لوله کوره، ابعاد قایق ویفر، سیستم های بارگیری خودکار و الزامات فرآیند خاص در دسترس هستند.