حلقه های اچ سیلیکونی

حلقه های اچ سیلیکونی اجزای ضروری در محفظه اچ پلاسما تجهیزات اچ CCP/ICP هستند و معمولاً در اطراف ویفر نیمه هادی قرار می گیرند. عملکرد اصلی آنها پشتیبانی از ویفر نیمه هادی، حفظ توزیع یکنواخت پلاسما، محافظت از لبه ویفر و در نتیجه کمک به ایجاد شرایط عملیاتی بهینه برای فرآیند اچ پلاسما است.

مزایای حلقه های اچ سیلیکونی Semicorex

1. انتخاب مواد درجه یک

حلقه های اچ سیلیکونی Semicorex از MCZ با دقت انتخاب شده با خلوص بالا ساخته شده اند.سیلیکون تک کریستالی، که خواص عالی زیر را نسبت به سیلیکون تک کریستالی CZ معمولی ارائه می دهد.

خلوص بالا: خلوص آن بیش از 99.9999999 درصد است که به این معنی است که حلقه های اچ سیلیکونی Semicorex تقریباً هیچ ناخالصی ندارند. این خلوص فوق العاده بالا می تواند به طور موثری از تداخل ناخالصی های اجزاء در طول فرآیند اچ جلوگیری کند، در نتیجه دقت بالای اچ را تضمین می کند.

ساختار پایدار: سیلیکون تک کریستالی MCZ دارای ساختار کریستالی برتر با عیوب کمتر نسبت به سیلیسیم تک کریستالی CZ معمولی است. این ساختار کریستالی پایدار به حلقه‌های اچ سیلیکونی Semicorex مقاومت در برابر خوردگی در برابر خوردگی پلاسما را افزایش می‌دهد و آنها را قادر می‌سازد تا در شرایط عملیاتی حکاکی سخت مقاومت کنند.

یکنواختی مقاومت عالی:حلقه های اچ سیلیکونی Semicorexارائه یکنواختی مقاومت استثنایی با RRG < 5٪. کیفیت پایین (<0.02 Ω·cm)، میانه Res. (0.2-25 Ω·cm)، وضوح بالا. (> 100 Ω·cm). این یکنواختی مقاومت عالی می تواند توزیع ناهموار پلاسما ناشی از مقاومت بیش از حد بالا یا پایین را به حداقل برساند، که به یک میدان الکتریکی ایده آل برای اچ کردن پلاسما با دقت بالا کمک می کند.

2. پردازش دقیق و بازرسی کیفیت دقیق

Semicorex دارای یک تیم فنی با تجربه است که می تواند سفارشی سازی شخصی و ارزیابی های فنی را برای مشتریان ارزشمند ما ارائه دهد و همچنین فرآیندهای پردازش و بازرسی سیستماتیک را برای تضمین کیفیت محصول ایجاد کرده است.

خدمات سفارشی سازی انعطاف پذیر: Semicorex از سفارشی سازی بر اساس نقشه های مشتری پشتیبانی می کند و حداکثر قطر سفارشی حلقه های حکاکی سیلیکونی می تواند تا 470 میلی متر باشد.

درمان سطح با استاندارد بالا: دقت پولیش را می توان به شدت در داخل Ra < 0.1 میکرومتر کنترل کرد، و سنگ زنی ریز به پایان سطح Ra> 0.1 میکرومتر می رسد.

بازرسی دقیق کیفیت: اندازه‌گیری ابعاد، تست مقاومت و بازرسی بصری برای اطمینان از عاری بودن حلقه‌های حکاکی سیلیکونی از تراشه، خراش، ترک، لکه و سایر نقص‌ها انجام می‌شود.