قایق SiC 6 اینچی

Semicorex 6 Inch SiC Boat یک حامل ویفر پیشرفته است که برای بهینه سازی عملکرد و کارایی پردازش نیمه هادی در دمای بالا، به ویژه برای کاربردهایی مانند اکسیداسیون، انتشار و سایر فرآیندهای حرارتی طراحی شده است. این محصول که از کاربید سیلیکون با کیفیت بالا (SiC) ساخته شده است، راه حلی قوی برای نگهداری ویفرهای نیمه هادی در طول عملیات بحرانی در دمای بالا، ارائه پایداری حرارتی عالی، مقاومت در برابر خوردگی عالی و حداقل خطرات آلودگی ارائه می دهد.

قایق SiC 6 اینچی با استفاده از کاربید سیلیکون با خلوص بالا (SiC) ساخته شده است، ماده ای که به دلیل خواص حرارتی برجسته، مقاومت شیمیایی و دوام در محیط های خشن شناخته شده است. SiC به دلیل نقطه ذوب بالا (تقریبا 2700 درجه سانتیگراد) به طور گسترده در تولید نیمه هادی ها استفاده می شود که آن را برای کاربردهای با دمای بالا مانند پردازش ویفر در کوره های اکسیداسیون و انتشار ایده آل می کند. طراحی قایق یکپارچگی ساختاری عالی و توزیع یکنواخت گرما را تضمین می کند که برای دستیابی به نتایج ثابت در رشد کریستال نیمه هادی، اکسیداسیون و سایر عملیات حرارتی بسیار مهم است.

ویژگی ها و مزایای کلیدی

پایداری حرارتی بالا

هدایت حرارتی استثنایی SiC تضمین می کند که قایق SiC 6 اینچی می تواند در برابر دماهای شدید بدون تاب برداشتن یا تخریب مقاومت کند. این ویژگی به ویژه در فرآیندهای اکسیداسیون و انتشار، که در آن کنترل دقیق دما برای پردازش یکنواخت ویفر ضروری است، ارزشمند است.

مقاومت شیمیایی عالی

مقاومت ذاتی کاربید سیلیکون در برابر خوردگی شیمیایی قایق را برای استفاده در محیط‌هایی که قرار گرفتن در معرض گازهای تهاجمی مانند اکسیژن، نیتروژن یا سایر عناصر واکنش‌دهنده معمول است، ایده‌آل می‌کند. این قایق یکپارچگی ساختاری و عملکرد خود را در محیط های با دمای بالا و واکنش شیمیایی حفظ می کند و احتمال آلودگی را کاهش می دهد.

دوام در دمای بالا

قایق SiC 6 اینچی برای عملکرد در دماهای تا 1500 درجه سانتیگراد طراحی شده است که برای بسیاری از فرآیندهای نیمه هادی در دمای بالا از جمله اکسیداسیون و انتشار لازم است. این تحمل دمای بالا عمر طولانی را حتی در کاربردهای سخت تضمین می کند.

خطر آلودگی کم

یکی از عوامل مهم در پردازش نیمه هادی، به حداقل رساندن آلودگی سطح ویفر است. سطوح ناخالصی پایین SiC و ماهیت غیر واکنشی این اطمینان را ایجاد می کند که قایق SiC 6 اینچی به یک محیط تمیز و کنترل شده کمک می کند و در نتیجه خطر آلودگی ناخواسته در طول پردازش را کاهش می دهد.

پشتیبانی یکنواخت ویفر

طراحی قایق تضمین می کند که ویفرها به طور یکنواخت پشتیبانی می شوند، تراز ویفر بهینه را حفظ می کند و از هر گونه افتادگی یا ناهماهنگی در طول پردازش در دمای بالا جلوگیری می کند. این پشتیبانی یکنواخت برای اطمینان از نتایج ثابت و جلوگیری از نقص ویفر ضروری است.

گزینه های سفارشی سازی

قایق SiC 6 اینچی را می توان برای مطابقت با نیازهای مشتری خاص، از جمله اندازه ها، شکل ها و پیکربندی های مناسب برای انواع مختلف ویفر، سفارشی کرد. چه برای اکسیداسیون، انتشار یا سایر فرآیندهای حرارتی استفاده شود، قایق را می توان برای جریان فرآیند خاص مشتری بهینه کرد.

کاربرد در ساخت نیمه هادی

قایق SiC 6 اینچی در درجه اول در فرآیندهای حرارتی با دمای بالا در تولید نیمه هادی استفاده می شود. این به ویژه در کوره های اکسیداسیون و انتشار، که در آن کنترل دقیق دما و اتمسفر برای پردازش موفقیت آمیز ویفر مورد نیاز است، موثر است.

• فرآیند اکسیداسیون: در طول فرآیند اکسیداسیون، ویفرهای سیلیکونی در دمای بالا در معرض اکسیژن قرار می گیرند تا یک لایه نازک دی اکسید سیلیکون روی سطح ویفر تشکیل دهند. قایق SiC 6 اینچی تضمین می کند که ویفرها به طور ایمن و یکنواخت در طول این فرآیند در دمای بالا نگه داشته می شوند و از تغییر شکل یا ناهماهنگی جلوگیری می کند و رشد یکنواخت لایه اکسید را تضمین می کند.
• فرآیند انتشار: در فرآیند انتشار، مواد ناخالص به ویفر سیلیکونی وارد می‌شوند تا خواص الکتریکی آن را اصلاح کنند. قایق SiC پشتیبانی پایدار و قابل اعتمادی را برای ویفرها در طول این مرحله حیاتی فراهم می کند، جایی که درجه حرارت بالا و کنترل دقیق محیط انتشار بسیار مهم است. پایداری حرارتی عالی آن گرمایش یکنواخت را تضمین می کند، که برای دستیابی به مشخصات ناخالصی مورد نظر بسیار مهم است.
• سایر برنامه های کاربردی در دمای بالا: فراتر از اکسیداسیون و انتشار، قایق SiC 6 اینچی را می توان در سایر فرآیندهای با دمای بالا مانند بازپخت، نیتریداسیون و رشد همپایه استفاده کرد. رسانایی حرارتی بالا و مقاومت در برابر شوک حرارتی آن را به یک راه حل همه کاره برای مراحل مختلف ساخت دستگاه های نیمه هادی تبدیل می کند.

مزایا نسبت به سایر مواد

در مقایسه با مواد سنتی مانند کوارتز یا گرافیت، کاربید سیلیکون مزایای قابل توجهی در تولید نیمه هادی دارد. قایق‌های کوارتز بیشتر مستعد شوک حرارتی و واکنش‌های شیمیایی هستند، در حالی که قایق‌های گرافیتی می‌توانند از گاز خارج شده و آلودگی ایجاد کنند. از سوی دیگر، قایق‌های SiC عملکرد خود را در محیط‌های خشن بدون خطر آلودگی، ناپایداری حرارتی یا تخریب حفظ می‌کنند. این باعث می شود قایق SiC 6 اینچی گزینه ای مطمئن تر و کارآمدتر برای پردازش نیمه هادی با دمای بالا باشد.

قایق SiC 6 اینچی Semicorex یک جزء حیاتی در صنعت نیمه هادی است که پایداری لازم، مقاومت شیمیایی و عملکرد حرارتی مورد نیاز برای پردازش پیشرفته ویفر را فراهم می کند. رسانایی حرارتی بالا، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و حداقل خطر آلودگی آن را به گزینه ای ایده آل برای اکسیداسیون، انتشار و سایر فرآیندهای نیمه هادی با دمای بالا تبدیل می کند. قایق SiC 6 اینچی چه در تحقیق و توسعه استفاده شود و چه در تولید در مقیاس بزرگ، عملکرد و قابلیت اطمینان لازم را برای اطمینان از بالاترین کیفیت نتایج در تولید نیمه هادی ارائه می دهد.