قایق ویفر دسته ای

Semicorex قایق های ویفر، پایه ها و حامل های ویفر سفارشی را برای هر دو پیکربندی عمودی / ستونی و افقی ارائه می دهد. ما سالها تولید کننده و تامین کننده فیلم پوشش سیلیکون کاربید بوده ایم. قایق ویفر دسته ای ما مزیت قیمت خوبی دارد و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Semicorex Batch Wafer Boat از مواد سرامیکی کاربید سیلیکون با کیفیت بالا برای مقاومت شیمیایی و پایداری حرارتی عالی ساخته شده است.
Batch Wafer Boat ما سطح صافی دارد و پشتیبانی و محافظت عالی از ویفر را در طول پردازش ارائه می دهد. پوشش SiC یکنواختی و ثبات را در طول پردازش تضمین می کند و از ویفرها در برابر آلودگی و آسیب محافظت می کند. نگهدارنده های ویفر ما با هدایت حرارتی عالی و استحکام مکانیکی برتر، نتایج ثابت و قابل اعتمادی را ارائه می دهند.
تیم متخصص ما متعهد به ارائه بهترین کیفیت و خدمات است. ما طرح های سفارشی را برای برآوردن نیازهای خاص شما ارائه می دهیم و قایق های ویفر دسته ای ما توسط برنامه تضمین کیفیت ما پشتیبانی می شوند.

پارامترهای قایق ویفر دسته ای

خصوصیات فنی
فهرست مطالب	واحد	ارزش
نام ماده		سیلیکون کاربید متخلخل واکنش	کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار	سیلیکون کاربید تبلور مجدد
ترکیب بندی		RBSiC	SSiC	R-SiC
چگالی حجیم	g/cm3	3	0.03 ± 3.15	2.60-2.70
استحکام خمشی	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 درجه سانتی گراد) 90-100 (1400 درجه سانتی گراد)
مقاومت فشاری	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
سختی	Knoop	2700	2800	/
شکستن سرسختی	MPa m1/2	4.5	4	/
رسانایی گرمایی	W/m.k	95	120	23
ضریب انبساط حرارتی	10^-60.1/°C	5	4	4.7
گرمای ویژه	ژول/گرم 0k	0.8	0.67	/
حداکثر دما در هوا	℃	1200	1500	1600
مدول الاستیک	GPA	360	410	240

تفاوت بین SSiC و RBSiC:

1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.

2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بیشتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.

3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است

ویژگی های Batch Wafer Boat

- استحکام بالا (سختی Mohs 9.5، بعد از الماس دوم)
- مقاومت در برابر خوردگی در برابر اسیدها، قلیاها، نمک ها و حلال های آلی
- هدایت حرارتی بالا، مقاومت پلاسما، عمر طولانی
- نیمه هادی ها