Semicorex برای ابزارهای نیمه ساخت OEM و اجزای جابجایی ویفر، سرامیک های نیمه هادی ارائه می دهد. ما سالها تولید کننده و تامین کننده فیلم پوشش سیلیکون کاربید بوده ایم. آستین محور سرامیکی ما مزیت قیمت خوبی دارد و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.
کاربید سیلیکون (SiC) یک سرامیک ریز مصنوعی نیمه رسانا است که در بخش وسیعی از بازارهای صنعتی برتری دارد. آستین محور سرامیکی Semicorex دارای ساختارهای با چگالی بالا و متخلخل باز است، همچنین با استحکام فوقالعاده مواد در دمای بالا و مقاومت در برابر شوک حرارتی، در کنار خواص مکانیکی ذاتاً چشمگیر ترکیب شده است. ما می توانیم انواع آستین محور سرامیکی را مطابق با نیاز مشتریان پردازش کنیم.
پارامترهای آستین محور سرامیکی
خصوصیات فنی |
||||
شاخص |
واحد |
ارزش |
||
نام مواد |
سیلیکون کاربید متخلخل واکنش |
کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار |
سیلیکون کاربید تبلور مجدد |
|
ترکیب |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
چگالی حجیم |
g/cm3 |
3 |
0.03 ± 3.15 |
2.60-2.70 |
قدرت خمشی |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20 درجه سانتیگراد) 90-100 (1400 درجه سانتیگراد) |
مقاومت فشاری |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970(560) |
> 600 |
سختی |
دکمه |
2700 |
2800 |
/ |
شکستن سرسختی |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
هدایت حرارتی |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
ضریب انبساط حرارتی |
10-60.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
گرمای ویژه |
ژول/گرم 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
حداکثر دما در هوا |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
مدول الاستیک |
GPA |
360 |
410 |
240 |
Semicorex آستین محور سرامیکی را به سه شکل کاربید سیلیکون متخلخل با واکنش (RBSiC)، کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار (SSiC) و کاربید سیلیکون کریستال (R-SiC) تولید کرد.
تفاوت بین SSiC و RBSiC:
1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.
2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بیشتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.
3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است
ویژگی های آستین محور سرامیکی
- استحکام بالا (سختی Mohs 9.5، بعد از الماس دوم)
- مقاومت در برابر خوردگی در برابر اسیدها، قلیاها، نمک ها و حلال های آلی
- هدایت حرارتی بالا، مقاومت پلاسما، عمر طولانی
- نیمه هادی ها
اشکال موجود سرامیک کاربید سیلیکون:
● میله سرامیکی / پین سرامیکی / پیستون سرامیکی
● لوله سرامیکی / بوش سرامیکی / آستین سرامیکی
● حلقه سرامیکی / واشر سرامیکی / اسپیسر سرامیکی
● دیسک سرامیکی
● صفحه سرامیکی / بلوک سرامیکی
● توپ سرامیکی
● پیستون سرامیکی
● نازل سرامیکی
● بوته سرامیکی
● سایر قطعات سرامیکی سفارشی