Semicorex قایق های ویفر، پایه ها و حامل های ویفر سفارشی را برای هر دو پیکربندی عمودی / ستونی و افقی ارائه می دهد. ما سالها تولید کننده و تامین کننده فیلم پوشش سیلیکون کاربید بوده ایم. قایق ویفر سرامیکی ما مزیت قیمت خوبی دارد و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.
قایق ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون با کیفیت بالا را معرفی می کنیم که برای ارائه راه حل قابل اعتمادی برای پردازش ویفر در صنایع مختلف طراحی شده است. این پایههای سرامیکی با استفاده از سرامیکهای با خلوص بالا تولید میشوند که مقاومت بسیار خوبی در برابر شوک حرارتی، سایش و خوردگی شیمیایی دارند و برای محیطهای سخت پردازش ویفر ایدهآل هستند.
قایق ویفر سرامیکی ما نیز بسیار سفارشی شده است و ما می توانیم با شما برای ایجاد پایه های سفارشی برای مطابقت با مشخصات منحصر به فرد شما همکاری کنیم. ما به توانایی خود در ارائه محصولات با کیفیت بالا و قابل اعتماد که خواسته های مشتریان ما را برآورده می کند، افتخار می کنیم. قایق ویفر سرامیکی ما ساخته شده است تا دوام داشته باشد و عمر طولانی داشته باشد و تضمین کند که بیشترین سود را از سرمایه گذاری خود به دست می آورید.
همین حالا سفارش دهید و مزایای قایق ویفر سرامیکی با کیفیت بالا را در عملیات پردازش ویفر خود تجربه کنید.
پارامترهای قایق ویفر سرامیکی
خصوصیات فنی |
||||
شاخص |
واحد |
ارزش |
||
نام مواد |
سیلیکون کاربید متخلخل واکنش |
کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار |
سیلیکون کاربید تبلور مجدد |
|
ترکیب |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
چگالی حجیم |
g/cm3 |
3 |
0.03 ± 3.15 |
2.60-2.70 |
قدرت خمشی |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20 درجه سانتیگراد) 90-100 (1400 درجه سانتیگراد) |
مقاومت فشاری |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970(560) |
> 600 |
سختی |
دکمه |
2700 |
2800 |
/ |
شکستن سرسختی |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
هدایت حرارتی |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
ضریب انبساط حرارتی |
10-60.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
گرمای ویژه |
ژول/گرم 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
حداکثر دما در هوا |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
مدول الاستیک |
GPA |
360 |
410 |
240 |
تفاوت بین SSiC و RBSiC:
1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.
2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بالاتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.
3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است
ویژگی های قایق ویفر سرامیکی
ساخته شده از سرامیک آلومینا با خلوص بالا برای مقاومت عالی در برابر شوک حرارتی، سایش و خوردگی شیمیایی
طراحی شده برای پشتیبانی و ثبات بهینه در طول پردازش ویفر، به حداقل رساندن خطر آسیب یا آلودگی
در طیف وسیعی از اندازه ها برای قرار دادن قطرها و ضخامت های مختلف ویفر موجود است
قابل تنظیم برای دیدار با مشخصات منحصر به فرد
ساخته شده تا دوام داشته باشد و عمر طولانی داشته باشد