حامل ویفر سرامیکی

ویفر سرامیک کاربید سیلیکون مقاومت خوبی در برابر خوردگی و مقاومت عالی در برابر دماهای بالا و شوک حرارتی دارد. مدول الاستیسیته بالا علاوه بر این منجر به پایداری ابعادی عالی می شود. علاوه بر این، تخلخل صفر و چگالی منافذ کم مواد سرامیکی وجود دارد.
ما می توانیم انواع حامل ویفر سرامیکی را مطابق با نیاز مشتریان پردازش کنیم.

پارامترهای حامل ویفر سرامیکی

Semicorex حامل ویفر سرامیکی را به سه شکل کاربید سیلیکون متخلخل با واکنش (RBSiC)، کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار (SSiC) و کاربید سیلیکون کریستال (R-SiC) تولید کرد.

تفاوت بین SSiC و RBSiC:

1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.

2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بیشتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.

3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است

ویژگی های کریر ویفر سرامیکی

گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا
مقاومت حرارتی برتر و یکنواختی حرارتی
کریستال SiC ریز پوشش داده شده برای سطح صاف
ماندگاری بالا در برابر تمیز کردن شیمیایی
مواد به گونه ای طراحی شده است که ترک و لایه لایه شدن رخ نمی دهد.

اشکال موجود سرامیک کاربید سیلیکون:

● میله سرامیکی / پین سرامیکی / پیستون سرامیکی

● لوله سرامیکی / بوش سرامیکی / آستین سرامیکی

● حلقه سرامیکی / واشر سرامیکی / اسپیسر سرامیکی

● دیسک سرامیکی

● صفحه سرامیکی / بلوک سرامیکی

● توپ سرامیکی

● پیستون سرامیکی

● نازل سرامیکی

● بوته سرامیکی

● سایر قطعات سرامیکی سفارشی