دست و پا زدن کنسول SiC سفارشی

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle به عنوان یک پیوند حیاتی بین سیستم بارگیری ویفر و قلب کوره انتشار عمل می کند و مسئول حمل قایق های کوارتز یا ویفر SiC مملو از ویفرهای سیلیکونی به منطقه پردازش با دمای بالا است. طراحی و خواص مواد آنها به دقت برای این کار سخت بهینه شده است:

ساختار مستحکم برای انتقال ویفر پایدار:طراحی کنسولی که با بازوی سفت و سختی که به داخل کوره کشیده می شود مشخص می شود، ثبات استثنایی و کنترل دقیقی بر حرکت ویفر فراهم می کند. این امر حمل و نقل صاف و بدون لرزش را تضمین می کند و خطر شکستن ویفر یا ناهماهنگی در هنگام بارگیری و تخلیه را به حداقل می رساند.

ظرفیت بار بالا برای پردازش دسته ای کارآمد:استحکام و استحکام ذاتی سرامیک‌های SiC به Paddle SiC Cantilever سفارشی اجازه می‌دهد تا بارهای سنگین ویفرهای سیلیکونی را در خود جای دهد و توان عملیاتی هر چرخه انتشار را به حداکثر برساند و به حجم تولید بالاتر کمک کند.

کنترل ابعادی دقیق برای ادغام بدون درز: Paddle سفارشی SiC Cantilever با دقت و با مشخصات ابعادی دقیق ساخته شده است، که از تناسب کامل در سیستم کوره پخش اطمینان می‌دهد و ادغام یکپارچه با روبات‌های کنترل خودکار ویفر را تسهیل می‌کند.

انتخاب سرامیک های SiC، به طور خاصسیلیکون کاربید پیوندی با واکنش (RBSiC)وسیلیکون کاربید متخلخل (SSiC)از آنجایی که ماده انتخابی برای دست و پا زدن SiC Cantilever Custom از ویژگی های عملکرد استثنایی آنها در محیط های با دمای بالا ناشی می شود:

پایداری تزلزل ناپذیر در دمای بالا: پدل کنسول سفارشی SiC مقاومت استثنایی در برابر تغییر شکل و خزش حتی در دماهای بالا (تا 1600 درجه سانتیگراد) که در کوره‌های انتشار مشاهده می‌شود، نشان می‌دهد. این امر پشتیبانی ثابت ویفر را تضمین می کند و از افتادگی یا خم شدن که می تواند یکنواختی ویفر را به خطر بیندازد، جلوگیری می کند.

مقاومت استثنایی در برابر شوک حرارتی:توانایی مقاومت در برابر تغییرات سریع دما بدون آسیب برای حفظ یکپارچگی پدل Cantilever SiC سفارشی در چرخه‌های انتشار بی‌شماری بسیار مهم است. سرامیک های SiC در این زمینه عالی هستند و خطر ترک خوردن یا شکستگی را که می تواند منجر به خرابی پرهزینه شود به حداقل می رساند.

انبساط حرارتی کم برای ترازبندی دقیق:حداقل انبساط حرارتی سرامیک‌های SiC تضمین می‌کند که پدل کنسول سفارشی SiC پایداری ابعادی خود را در محدوده وسیع دمایی که در طول کار تجربه می‌شود حفظ می‌کند. این برای حفظ تراز دقیق ویفر در کوره، حصول اطمینان از گرمایش یکنواخت و پروفیل های انتشار ثابت بسیار مهم است.