حلقه های زمین بالایی با پوشش سی سی سی سی وی دی

سی وی دی سی سیحلقه های زمین بالایی روکش دار معمولاً در ناحیه بالایی محفظه واکنش در تجهیزات اچینگ پلاسما نصب می شوند و در اطراف چاک الکترواستاتیک ویفر قرار می گیرند. حلقه‌های زمین بالایی که با پوشش سی سی سی سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی‌سی (CVD) پوشش داده‌شده‌اند، برای کل سیستم اچینگ حیاتی هستند، که می‌توانند به عنوان مانع فیزیکی برای محافظت از اجزای دستگاه در برابر حمله پلاسما عمل کنند و میدان الکتریکی داخلی را تنظیم کنند و محدوده توزیع پلاسما را برای اطمینان از نتایج یکنواخت اچینگ محدود کنند.

حکاکی پلاسما یک فناوری اچ خشک است که به طور گسترده در تولید نیمه هادی ها استفاده می شود، که با استفاده از فعل و انفعالات فیزیکی و شیمیایی بین پلاسما و سطح مواد نیمه هادی برای حذف انتخابی نواحی خاص و در نتیجه دستیابی به پردازش ساختارهای دقیق کار می کند. در محیط سخت حکاکی پلاسما، پلاسمای پرانرژی باعث خوردگی تهاجمی و حمله به اجزای داخل محفظه واکنش می شود. برای اطمینان از عملکرد قابل اعتماد و کارآمد، اجزای محفظه باید مقاومت در برابر خوردگی عالی، خواص مکانیکی و ویژگی‌های آلودگی کم داشته باشند. حلقه‌های زمینی با پوشش سی سی سی سی سی سی سی سی‌کورکس Semicorex کاملاً برای رسیدگی به این محیط‌های عملیاتی خشن و با خوردگی بالا طراحی شده‌اند.

پوشش قابل اعتماد سی وی دی سی سی

برای عملکرد بهتر در شرایط سخت حکاکی، حلقه‌های زمینی با پوشش سی سی سی سی سی سی‌سی‌کورکس Semicorex با یک پوشش سی سی سی با عملکرد بالا پوشانده شده‌اند که عملکرد و دوام آن‌ها را بیشتر می‌کند.

1. خلوص فوق العاده بالا

راپوشش SiCساخته شده از طریق فرآیند CVD دارای چگالی عالی با خلوص فوق العاده بالا (خلوص بیش از 99.9999٪) است، که می تواند از حمله پلاسمایی با انرژی بالا به حلقه های زمینی با پوشش Semicorex CVD SiC در کاربردهای اچ کردن جلوگیری کند، در نتیجه از آلودگی ناشی از ذرات ناخالصی از ماتریکس جلوگیری می کند.

2. بهبود مقاومت در برابر خوردگی

پوشش SiC ساخته شده از طریق فرآیند CVD مقاومت در برابر خوردگی بهبود یافته ای را ارائه می دهد و باعث می شود حلقه های زمینی با پوشش سی سی سی سی سی سی سی سی کورکس به طور موثر در برابر خوردگی چالش برانگیز پلاسما (به ویژه گازهای خورنده مانند هالوژن و فلوئور) مقاومت کنند.

3. بهبود خواص مکانیکی

به لطف سختی و مقاومت بالا در پوشش CVD SiC، حلقه‌های زمینی با پوشش سی سی سی Semicorex می‌توانند بمباران پلاسما، استرس مکانیکی و جابجایی مکرر را بدون تغییر شکل یا شکستگی در طول سرویس طولانی‌مدت تحمل کنند.

پردازش و بازرسی کیفیت با استاندارد بالا

برای انطباق کامل با شرایط سخت حکاکی نیمه هادی، حلقه های زمینی با پوشش سی سی سی سی سی سی سی سیکوکس (Semicorex) تحت ماشینکاری دقیق و بازرسی دقیق قرار می گیرند.

درمان سطح: دقت پولیش Ra <0.1μm است. دقت آسیاب ریز Ra> 0.1μm است

دقت پردازش در ≤ 0.03 میلی متر کنترل می شود

بازرسی کیفیت:

حلقه‌های جامد CVD SiC Semicorex تحت آنالیز ICP-MS (طیف‌سنجی جرمی پلاسمای جفت شده القایی) قرار دارند. حلقه‌های جامد CVD SiC Semicorex تحت اندازه‌گیری ابعادی، تست مقاومت و بازرسی بصری قرار می‌گیرند و تضمین می‌کنند که محصولات فاقد تراشه، خراش، ترک و لکه‌های دیگر هستند.