لوله کوره انتشار

لوله کوره پخش Semicorex یک جزء مهم در تجهیزات تولید نیمه هادی است که به طور خاص برای تسهیل واکنش های دقیق و کنترل شده ضروری برای فرآیندهای ساخت نیمه هادی طراحی شده است. به عنوان مخزن اولیه در منطقه واکنش یک کوره نیمه هادی، لوله کوره انتشار نقشی محوری در تضمین یکپارچگی و کیفیت دستگاه های نیمه هادی تولید شده ایفا می کند. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

لوله کوره انتشار معمولاً از کوارتز با خلوص بالا یا SiC ساخته می شود که هر دو پایداری حرارتی و مقاومت فوق العاده ای در برابر واکنش های شیمیایی از خود نشان می دهند. این مهم است زیرا لوله کوره انتشار نباید ناخالصی را وارد مواد نیمه هادی در حال پردازش کند. حتی کوچکترین ناخالصی ها می تواند اثرات مخرب قابل توجهی بر عملکرد و قابلیت اطمینان دستگاه های نیمه هادی ساخته شده داشته باشد.

مواد مورد استفاده در ساخت لوله کوره انتشار به دلیل خلوص بالا انتخاب شده اند تا از آلودگی ویفرهای نیمه هادی در طول پردازش جلوگیری کنند. لوله کوره انتشار در برابر دماهای شدیدی که در طول پردازش نیمه هادی با آن مواجه می شود بدون تغییر شکل یا به خطر انداختن یکپارچگی ساختاری خود مقاومت می کند. این امر عملکرد ثابت و قابل اعتماد را در طول دوره های طولانی کار تضمین می کند. علاوه بر پایداری حرارتی، لوله کوره انتشار نیز در برابر اثرات خورنده مواد شیمیایی و گازهای مورد استفاده در پردازش نیمه هادی مقاومت نشان می دهد. این از تخریب لوله در طول زمان جلوگیری می کند و طول عمر را تضمین می کند.

برخی از لوله‌های کوره‌های انتشار ممکن است دارای آسترهایی باشند که از مواد تخصصی ساخته شده‌اند تا عملکرد خود را بیشتر کنند یا محافظت بیشتری در برابر آلودگی یا واکنش‌های شیمیایی ایجاد کنند. این آسترها با دقت انتخاب می شوند تا خواص مواد لوله و الزامات خاص فرآیند ساخت نیمه هادی را تکمیل کنند.