قایق ویفر اپیتاکسیال

Semicorex قایق های ویفر، پایه ها و حامل های ویفر سفارشی را برای هر دو پیکربندی عمودی / ستونی و افقی ارائه می دهد. ما سالها تولید کننده و تامین کننده فیلم پوشش سیلیکون کاربید بوده ایم. قایق ویفر اپیتاکسیال ما مزیت قیمت خوبی دارد و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Semicorex Epitaxial Wafer Boat، راه حل عالی برای پردازش ویفر در تولید نیمه هادی. قایق های ویفر اپیتاکسیال ما از سرامیک کاربید سیلیکون (SiC) با کیفیت بالا ساخته شده اند که مقاومت بالایی در برابر دماهای بالا و خوردگی شیمیایی ایجاد می کند.
قایق ویفر اپیتاکسیال کاربید سیلیکون ما دارای سطح صافی است که تولید ذرات را به حداقل می رساند و بالاترین سطح خلوص را برای محصولات شما تضمین می کند. با هدایت حرارتی عالی و استحکام مکانیکی برتر، قایق های ما نتایج ثابت و قابل اعتمادی را ارائه می دهند.
قایق های ویفر اپیتاکسیال ما با تمام تجهیزات استاندارد پردازش ویفر سازگار هستند و می توانند تا دمای 1600 درجه سانتیگراد را تحمل کنند. حمل و تمیز کردن آنها آسان است و آنها را به انتخابی مقرون به صرفه و کارآمد برای نیازهای تولید شما تبدیل می کند.
تیم متخصص ما متعهد به ارائه بهترین کیفیت و خدمات است. ما طرح های سفارشی را برای برآوردن نیازهای خاص شما ارائه می دهیم و محصولات ما توسط برنامه تضمین کیفیت ما پشتیبانی می شوند.

پارامترهای قایق ویفر اپیتاکسیال

خصوصیات فنی
شاخص	واحد	ارزش
نام مواد		سیلیکون کاربید متخلخل واکنش	کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار	سیلیکون کاربید تبلور مجدد
ترکیب		RBSiC	SSiC	R-SiC
چگالی حجیم	g/cm3	3	0.03 ± 3.15	2.60-2.70
قدرت خمشی	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 درجه سانتیگراد) 90-100 (1400 درجه سانتیگراد)
مقاومت فشاری	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
سختی	دکمه	2700	2800	/
شکستن سرسختی	MPa m1/2	4.5	4	/
هدایت حرارتی	W/m.k	95	120	23
ضریب انبساط حرارتی	10^-60.1/°C	5	4	4.7
گرمای ویژه	ژول/گرم 0k	0.8	0.67	/
حداکثر دما در هوا	℃	1200	1500	1600
مدول الاستیک	GPA	360	410	240

تفاوت بین SSiC و RBSiC:

1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.

2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بیشتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.

3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است

ویژگی های قایق ویفر اپیتاکسیال کاربید سیلیکون

SiC با خلوص بالا با پوشش MOCVD
مقاومت حرارتی برتر و یکنواختی حرارتی
روکش کریستال SiC ریز برای سطح صاف
ماندگاری بالا در برابر تمیز کردن شیمیایی
مواد به گونه ای طراحی شده است که ترک و لایه لایه شدن رخ نمی دهد.