قایق های SIC کوره محفظه افقی

کوره های SIC COURACE COURACE SEMICOREX یک قسمت بسیار مهندسی هستند که ویفرها یا بسترها را در حالی که در یک کوره محفظه افقی قرار دارند ، در معرض پردازش حرارتی درجه حرارت بالا قرار داده و حمل می کنند. قایق ویفر از SIC با خلوص بالا ساخته شده است کاربید سیلیکون (SIC)، که ترکیبی منحصر به فرد از استحکام ، پایداری حرارتی و مقاومت شیمیایی بالایی را که در فرایندهای نیمه هادی ، فتوولتائیک و سرامیک پیشرفته مورد نیاز است ، فراهم می کند. قایق ویفر همچنین به عنوان یک ساختار سفت و سخت برای نگه داشتن ویفرها در موقعیت عمل می کند ، ثبات بعدی و دقت ویفرها با قرار گرفتن در معرض طولانی در دمای شدید فرآیند از بین نمی رود.

خواص برتر کاربید سیلیکون ، قایق های SIC کوره ای افقی را در مقایسه با مواد معمولی برای قایق های ویفر مانند کوارتز یا آلومینا از مزیت عملکرد برتر فراهم می کند. آنها می توانند بدون در نظر گرفتن سرعت گرمایش و سرمایش یا افراط در چرخه حرارتی ، به دلیل نقطه ذوب بالا ، مقاومت در برابر شوک حرارتی و استحکام مکانیکی ، در برابر چرخه های گرمایش و خنک کننده کوتاه مدت در برابر کوتاه مدت مقاومت کنند. از آنجا که یک کوره افقی کاملاً به قوام مواضع ویفرها و قرار گرفتن در معرض شرایط فرآیند متکی است ، تراز مناسب ویفرها عملکرد فرآیند مداوم و تکرارپذیری را فراهم می کند. ضریب کم انبساط حرارتی به این معنی است که قایق بر زندگی خود تحریف نمی شود و شکل و فاصله وفر را حفظ می کند.

ساختار ریز دانه و متراکم از SIC تبلور شده ، مقاومت قابل توجهی در برابر اکسیداسیون ، خوردگی و آلودگی توسط گازهای فرآیند و فرآیند فراهم می کند. این باعث می شود قایق به ویژه برای فرآیندهای موجود در جوهای تهاجمی مانند انتشار ، اکسیداسیون ، LPCVD و بازپخت سودمند باشد. عدم تحرک بالای شیمیایی SIC از واکنش با سطوح ویفر جلوگیری می کند ، بنابراین خلوص محصول را حفظ می کند و تولید ذرات را در کوره به حداقل می رساند. قایق های SIC می توانند به تولیدکنندگانی که نیاز به برآورده کردن خواسته های پاکیزگی سختگیرانه ، فراهم کردن محیط های پردازش پاک تر و بهبود کیفیت ویفر دارند ، کمک کند.

این قایق ها را می توان با هندسه های مختلف پیچیده و ابعاد خاص جزئی با ماشینکاری دقیق و تکنیک های تشکیل دهنده تولید کرد. این طرح ها به طور کلی از چندین شکاف/شیارهای موازی استفاده می کنند تا ویفرها را به طور ایمن در یک جهت گیری افقی نگه دارند و به طور یکنواخت کل سطح ویفر را در شرایط حرارتی قرار دهند. فاصله و زاویه های شکاف به شکاف نیز می تواند متناسب با ویفرهای قطر دیگر ، مانند 150 میلی متر ، 200 میلی متر یا 300 میلی متر و جریان هوا مستقیم در هنگام پردازش اثرات در حالی که هنوز یکنواختی دما برای پردازش را بدست می آورد ، بهینه شود.

نه تنها می توان قایق های SIC کوره محفظه افقی را در عزیمت های استاندارد طراحی کرد ، بلکه می تواند برای کار با لودرهای ویفر خودکار طراحی شود و در نتیجه یکپارچه سازی یکپارچه در خطوط تولید مدرن با توان بالا انجام شود. طراحی قوی همچنین باعث می شود که قایق ها در هنگام کار با تراشه یا شکسته شدن کمتر شوند و خرابی و هزینه های جایگزینی را کاهش دهند.

هدایت حرارتی ازکاربید سیلیکونیک مزیت مهم دیگر را نشان می دهد که انتقال حرارت کارآمد بین ویفرها و محیط کوره را تسهیل می کند. مزیت این است که تولید کنندگان قادر به دستیابی به شرایط پردازش یکنواخت تر و کوتاه کردن زمان چرخه هستند که می تواند راندمان تولید را افزایش دهد. قایق های SIC نتایج مداوم و تکرار شونده را ارائه می دهند که از آنها برای ساخت ویفر نیمه هادی ، تولید سلول های خورشیدی یا سایر پردازش مواد پیشرفته در دماهای بالا استفاده می شود.

به طور خلاصه ، قایق های SIC کوره محفظه افقی یکی از مؤلفه های اصلی تولید کننده هایی است که به دنبال تولید ویفرها با حامل های ویفر با کارایی بالا ، ماندگار و مقاوم در برابر آلودگی هستند. این مقاومت مکانیکی ، پایداری حرارتی و عدم تحرک شیمیایی است که در کاربردهای کوره های افقی بی نظیر است. با انتخاب قایق های کاربید سیلیکون ، اپراتورها می توانند از کنترل فرآیند بهتر ، بازده بالاتر استفاده کنند و به دلیل نگهداری ، وقفه های عملیاتی را به حداقل برسانند. به طور کلی ، تولیدات کارآمدتر و مقرون به صرفه تری را فراهم می کند.