قایق های کاربید سیلیکون افقی

Semicorex افقیقایق های کاربید سیلیکونبه طور یکپارچه با استفاده از فناوری چاپ سه بعدی شکل گرفته و سپس از طریق تف جوشی در دمای بالا ساخته می شوند. این اجزا که برای تناسب با اندازه‌های مختلف کوره افقی با دمای بالا ساخته شده‌اند، به‌طور گسترده برای حفظ محکم ویفر در فرآیندهای حیاتی تولید نیمه‌رسانا در دمای بالا، از جمله انتشار، اکسیداسیون، و رسوب بخار شیمیایی استفاده می‌شوند.

خواص فیزیکوشیمیایی کاربید سیلیکون

مزایای قایق افقی سیلیکون کاربید Semicorexs

1.پشتیبانی و موقعیت پایدار

استحکام و سختی بی‌نظیر مواد به قایق‌های کاربید سیلیکون افقی Semicorex ظرفیت پشتیبانی عالی می‌دهد، که آنها را قادر می‌سازد تا چندین ویفر را به طور همزمان حمل کنند. قایق‌های کاربید سیلیکون افقی Semicorex از طریق ماشین‌کاری دقیق اسلات، می‌توانند ویفرهای نیمه‌رسانا را محکم ببندند و محکم نگه دارند. ساختار شکاف با فاصله یکنواخت تضمین می کند که ویفرها در تمام چرخه پردازش یک موقعیت ثابت را حفظ می کنند و در نتیجه ثبات و دقت فرآیندهای تولید نیمه هادی را تضمین می کند.

2. سازگاری با شرایط عملیاتی پیچیده

قایق‌های کاربید سیلیکون افقی Semicorex به دلیل مقاومت بالای خود در دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی، قادر به مقاومت در برابر محیط‌های عملیاتی سخت مانند اتمسفرهای اکسیژن، نیتروژن یا کلرید هیدروژن با غلظت پایین هستند. این خواص استثنایی مواد می تواند به طور موثری از خوردگی و آسیب ناشی از گازهای خورنده با دمای بالا جلوگیری کند که طول عمر عملیاتی قایق ها را تا حد زیادی افزایش می دهد.

3. عملکرد تمیزی استثنایی

متفاوت از قایق های گرافیتی با پوشش کاربید سیلیکون معمولی، قایق های کاربید سیلیکونی افقی Semicorex از درجه نیمه هادی و با خلوص بالا ساخته می شوند.کاربید سیلیکون(99.999%) با محتوای ناخالصی بسیار کم. این انتخاب مواد درجه یک، خطر خروج گازهای آلاینده یا لایه برداری پوشش را از بین می برد، حتی زمانی که در معرض دمای بالا و محیط های خورنده خشن قرار می گیرد. علاوه بر این، هر یک از قایق‌های کاربید سیلیکون ما قبل از بسته‌بندی تحت خلاء، تحت فرآیندهای سخت‌گیرانه تمیز کردن اولتراسونیک قرار می‌گیرند، که انطباق با استانداردهای تمیزی مورد نیاز فرآیندهای ساخت نیمه‌رسانای پیشرفته را تضمین می‌کند.