ریز و درشت

Semicorex Microporous Sic Chuck یک ویفر خلاء مدرن و خلاء است که برای کنترل دقیق ویفرها در برنامه های تولید نیمه هادی طراحی شده است. این بخش به عنوان یک بخش اساسی در انتخاب ، نگه داشتن و حمل و نقل از طریق مراحل مختلف پردازش ویفر که شامل تمیز کردن ، اچ ، رسوب و لیتوگرافی است ، عمل می کند. این چاک ویفر با نتیجه ای که ویفر در طی عملیات پیچیده ایمن برگزار می شود ، ضعف و ثبات عالی را تضمین می کند.

چاک Sic Microporous Semicorex دارای یک ساختار سطح ریز و درشت است. این از کاربید سیلیکون (SIC) با کیفیت بالا تهیه شده و از پایداری حرارتی عالی ، مقاومت شیمیایی و دوام طولانی مدت اطمینان می دهد. این نیروی مکش یکنواخت را در کل سطح ویفر امکان پذیر می کند و ضمن اطمینان از برخورد قابل اطمینان در طول چرخه پردازش ، آسیب به ویفر را به حداقل می رساند. مواد پایه ارائه شده شامل فولاد ضد زنگ SUS430 ، آلیاژ آلومینیوم 6061 ، سرامیک آلومینای متراکم ، گرانیت و سرامبی سیلیسن است.

ویژگی ها و مزایا

ساختار سطح میکروپور: چاک Sic با یک سطح ریز و درشت طراحی شده است و باعث افزایش کارایی جذب خلاء می شود. این تضمین می کند که حتی ویفرهای ظریف و بدون ایجاد تحریف یا خسارت در محل نگهداری می شوند.

تطبیق پذیری مواد: مواد پایه چاک متناسب با نیازهای خاص فرآیند قابل تنظیم است:

• SUS430 استیل ضد زنگ: مقاومت در برابر خوردگی خوب را با قیمت مناسب ، ایده آل برای برنامه های استاندارد ارائه می دهد.
• آلیاژ آلومینیوم 6061: سبک وزن با هدایت حرارتی بالا ، اتلاف گرمای عالی را برای برنامه هایی که نیاز به ثبات در دمای بالا دارند ، ارائه می دهد.
• سرامیک آلومینای متراکم (99 ٪ AL2O3): عایق الکتریکی استثنایی و مقاومت در برابر دمای بالا ، مناسب برای کاربردهای با دقت بالا در تولید نیمه هادی را فراهم می کند.
• گرانیت: به دلیل خاصیت مکانیکی برجسته خود ، گرانیت میرایی لرزش عالی را ارائه می دهد ، و آن را برای کار با ویفر با دقت بالا که در آن ثبات مکانیکی ضروری است ، ایده آل می کند.
• سرامیک کاربید سیلیکون: انتخاب نهایی برای هدایت حرارتی بالا و مقاومت در برابر شوک حرارتی ، ارائه عملکرد طولانی مدت در محیط های نیمه هادی.

صحت صافی برتر: چاک دارای صافی استثنایی است که برای دقت در مورد ویفر ضروری است. دقت صافی مواد پایه مختلف به شرح زیر است:

آلیاژ آلومینیوم 6061: مناسب برای برنامه های کاربردی که نیاز به صافی متوسط ​​و سبک وزن دارند.

SUS430 استیل ضد زنگ: صافی خوبی را ارائه می دهد ، که به طور معمول برای بیشتر فرآیندهای نیمه هادی کافی است.

آلومینای متراکم (99 ٪ AL2O3): بالاترین صافی را فراهم می کند ، و از نگه داشتن دقیق ویفر در طی فرآیندهای حساس اطمینان می دهد.

سرامیک گرانیت و سیک: هر دو ماده از صافی بالا و ثبات مکانیکی عالی برخوردار هستند و دقت برتر را برای خواستار دست زدن به ویفر ارائه می دهند.

وزن قابل تنظیم: وزن چاک به مواد پایه انتخاب شده بستگی دارد:

آلیاژ آلومینیوم 6061: سبکترین ماده ، ایده آل برای فرآیندی که نیاز به تغییر مکان یا استفاده مجدد دارند.

گرانیت: وزن متوسطی را ارائه می دهد و ثبات جامد را بدون جرم بیش از حد فراهم می کند.

سرامیک های کاربید و آلومینا سیلیکون: سنگین ترین مواد ، استحکام و استحکام برتر را برای کاربردهای خواستار ارائه می دهد.

با دقت و ثبات بالا: SIC Chuck تضمین می کند که ویفرها با حداکثر دقت اداره می شوند و حداقل تغییر ویفر یا تغییر شکل در طول حمل و نقل را از طریق مراحل پردازش ارائه می دهند.

برنامه های کاربردی در تولید کننده نیمه هادیg

Sic Chuck Microporous در درجه اول در برنامه های کاربردی ویفر در فرآیندهای ساخت نیمه هادی استفاده می شود ، از جمله:

• تمیز کردن ویفر: برای اطمینان از تمیز کردن کامل و یکنواخت بدون ایجاد آسیب ، ویفرها را در حین فرآیند تمیز کردن نگه می دارد.
• اچ و لیتوگرافی: در مراحل اچینگ یا لیتوگرافی ، نگه داشتن ویفر پایدار را فراهم می کند و از دقت و دقت در الگوی اطمینان می دهد.
• رسوب: ویفرها را در طول رسوب بخار فیزیکی (PVD) یا رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایمن می کند ، برای پوشش های فیلم نازک در ساخت نیمه هادی بسیار مهم است.
• بازرسی: امکان نگه داشتن ویفر ایمن در مراحل بازرسی را فراهم می کند ، و اطمینان می دهد که ویفر برای تصویربرداری یا اندازه گیری با وضوح بالا کاملاً تراز و پایدار است.
• بسته بندی: کمک به فرآیند بسته بندی ویفر ، فراهم کردن حمل و نقل ایمن برای ویفرها قبل یا بعد از جداسازی تراشه.

Semicorex Microporous Sic Chuck با نیازهای تولید نیمه هادی مدرن در ذهن طراحی شده است. این که آیا شما برای جابجایی آسان یا سنگین تر ، مواد سفت و سخت تر ، برای استفاده دقیق به مواد سبک وزن نیاز دارید ، چاک ما را می توان متناسب با مشخصات دقیق شما سفارشی کرد. با داشتن طیف وسیعی از گزینه های مواد پایه ، هر یک از مزایای منحصر به فرد برای نیازهای خاص پردازش ، Semicorex محصولی را ارائه می دهد که با دقت ، تطبیق پذیری و دوام ترکیب می شود. علاوه بر این ، سطح ریزپرس تضمین می کند که ویفرها به طور ایمن و یکنواخت نگه داشته می شوند ، خطر آسیب را به حداقل می رساند و از رسیدگی به کیفیت در هر فرآیند اطمینان می یابد.

برای تولید کنندگان نیمه هادی که به دنبال راه حل های قابل اعتماد ، قابل تنظیم و با کارایی بالا هستند ، SIC Chuck Microporous Semicorex تعادل کاملی از دقت ، انعطاف پذیری مواد و عملکرد طولانی مدت را ارائه می دهد. با استفاده از محصول ما ، می توانید اطمینان حاصل کنید که روند کار با ویفر شما کارآمد ، ایمن و بسیار دقیق خواهد بود.