حلقه های ورودی MOCVD

Semicorex یک تولید کننده و تامین کننده گرافیت با پوشش سیلیکون کاربید در چین است. حلقه های ورودی MOCVD ما مزیت قیمت خوبی دارند و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهند. ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Semicorex حلقه‌های ورودی MOCVD مورد استفاده در رسوب‌گذاری و پردازش ویفر را تامین می‌کند که برای RTA، RTP یا تمیز کردن شیمیایی خشن واقعاً پایدار است. حلقه های ورودی MOCVD ما دارای ساختار گرافیت با روکش کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا هستند که مقاومت حرارتی عالی، حتی یکنواختی حرارتی برای ضخامت و مقاومت لایه epi و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می دهند. پوشش کریستالی SiC ریز سطحی تمیز و صاف را فراهم می کند که برای جابجایی بسیار مهم است، زیرا ویفرهای بکر در بسیاری از نقاط در کل منطقه خود با گیرنده تماس می گیرند.

در Semicorex، ما بر ارائه حلقه های ورودی MOCVD با کیفیت بالا و مقرون به صرفه تمرکز می کنیم، رضایت مشتری را در اولویت قرار می دهیم و راه حل های مقرون به صرفه ارائه می دهیم. ما مشتاقانه منتظر هستیم تا شریک بلندمدت شما باشیم، محصولاتی با کیفیت بالا و خدمات استثنایی به مشتریان ارائه دهیم.

پارامترهای حلقه های ورودی MOCVD

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز β FCC
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	میکرومتر	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت حرارتی	J kg-1 K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (4pt خم، 1300℃)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
هدایت حرارتی	(W/mK)	300