حلقه های ورودی MOCVD

Semicorex یک تولید کننده و تامین کننده گرافیت با پوشش سیلیکون کاربید در چین است. حلقه های ورودی MOCVD ما مزیت قیمت خوبی دارند و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهند. ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Semicorex حلقه های ورودی MOCVD مورد استفاده در رسوب گذاری و پردازش ویفر را تامین می کند که برای RTA، RTP یا تمیز کردن مواد شیمیایی خشن واقعا پایدار است. حلقه‌های ورودی MOCVD ما دارای ساختار گرافیت با روکش کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا است که مقاومت حرارتی عالی، حتی یکنواختی حرارتی برای ضخامت و مقاومت لایه epi و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می‌کند. پوشش کریستال SiC ریز سطحی تمیز و صاف را فراهم می کند که برای جابجایی بسیار مهم است زیرا ویفرهای بکر در بسیاری از نقاط در سراسر منطقه خود با گیرنده تماس می گیرند.

در Semicorex، ما بر ارائه حلقه های ورودی MOCVD با کیفیت بالا و مقرون به صرفه تمرکز می کنیم، رضایت مشتری را در اولویت قرار می دهیم و راه حل های مقرون به صرفه ارائه می دهیم. ما مشتاقانه منتظر هستیم تا شریک بلندمدت شما باشیم، محصولاتی با کیفیت بالا و خدمات استثنایی به مشتریان ارائه دهیم.

پارامترهای حلقه های ورودی MOCVD

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300