در صنعت نیمه هادی، لایه های همپایی با تشکیل لایه های نازک تک کریستالی خاص در بالای یک بستر ویفر، که در مجموع به عنوان ویفر همپایی شناخته می شوند، نقش مهمی ایفا می کنند. به ویژه، لایههای اپیتاکسیال کاربید سیلیکون (SiC) که بر روی بسترهای SiC رسانا رشد میکنند، ویفرهای همگن SiC همگن تولید میکنند که د......
ادامه مطلبدر حال حاضر، اکثر تولیدکنندگان بستر SiC از طراحی فرآیند میدان حرارتی بوتهای جدید با سیلندرهای گرافیتی متخلخل استفاده میکنند: قرار دادن مواد خام ذرات SiC با خلوص بالا بین دیواره بوته گرافیتی و سیلندر گرافیتی متخلخل، در عین حال عمیقتر کردن کل بوته و افزایش قطر بوته.
ادامه مطلبرشد اپیتاکسیال به فرآیند رشد یک لایه تک کریستالی که از نظر کریستالوگرافی به خوبی مرتب شده روی یک بستر اشاره دارد. به طور کلی، رشد اپیتاکسیال شامل کشت یک لایه کریستالی بر روی یک بستر تک کریستالی است که لایه رشد یافته همان جهت کریستالوگرافی را با بستر اصلی دارد. اپیتاکسی به طور گسترده در تولید نیمه ها......
ادامه مطلبرسوب بخار شیمیایی (CVD) به فناوری فرآیندی اشاره دارد که در آن واکنشدهندههای گازی متعدد در فشارهای جزئی متفاوت تحت یک واکنش شیمیایی تحت شرایط دما و فشار خاص قرار میگیرند. ماده جامد حاصل بر روی سطح ماده بستر رسوب می کند و در نتیجه لایه نازک مورد نظر به دست می آید. در فرآیندهای تولید مدار مجتمع سنتی......
ادامه مطلب