گیرنده های پوشش داده شده CVD SiC به عنوان نگهدارنده ویفر تخصصی در فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی فلزی-آلی (MOCVD) عمل می کنند و نقش مهمی در ساخت نیمه هادی ایفا می کنند. این اجزا برای حفظ یکپارچگی ساختاری ویفرها در طول اپیتاکسی تحت شرایط شدید مانند دمای بالا و محیط های خورنده حیاتی هستند. **
ادامه مطلبهمواپیتاکسی و هترواپیتاکسی نقش های محوری در علم مواد دارند. همواپیتاکسی شامل رشد یک لایه کریستالی بر روی بستری از همان ماده است که حداقل نقص را به دلیل تطابق کامل شبکه تضمین می کند. در مقابل، هترواپیتاکسی یک لایه کریستالی را بر روی یک بستر مواد مختلف رشد میدهد، که میتواند منجر به چالشهایی مانند ع......
ادامه مطلب