سیکن متخلخل

Semicorex متخلخل SIC Chuck یک قسمت سرامیکی است که با دقت و کارآمد برای کنترل ایمن بسترهای ویفر برای برنامه های نیمه هادی از طریق مراحل فرآیند مانند بازرسی ، آزمایش و لیتوگرافی مونتاژ شده است. چاک از سرامیک کاربید میکرو متخلخل (SIC) ساخته شده است. SIC دارای استحکام مکانیکی ، مقاومت شیمیایی و خصوصیات پایداری حرارتی مورد نیاز برای محیط های تولید نیمه هادی برش است.

ویژگی اساسی چاک متخلخل متخلخل ، ریزساختار منحصر به فرد آن است که دارای تخلخل 35 ٪ -40 ٪ است. با تخلخل چاک کاملاً کنترل شده ، طراحی پوشاننده اجازه می دهد تا مکش خلاء به طور مساوی در سراسر چاک ایجاد شود که باعث ایجاد پشتیبانی پایدار و غیر کنسول مداوم برای بسترهای معمولی ظریف ویفر شود: سیلیکون یا GAN و سایر نیمه هادی های ترکیبی.  حالت مکش خلاء هم از آلودگی ذرات و هم از آسیب مکانیکی جلوگیری می کند ، در نتیجه یکپارچگی ویفر را در طی فرآیند حفظ می کند.

بدنه سرامیکی چاک در درجه اول خلوص بالایی است ، با سرامیک های دیگر ، مانند آلومینا (AL2O3) ، که به طور بالقوه بسته به کاربرد برای تعداد محدودی از لایه های عملکردی مورد استفاده قرار می گیرد. تحقیق و توسعه این مواد باعث می شود اندازه و توزیع منافذ بتواند بسته به اندازه ویفر و شرایط فرآیند ، جریان هوا را طراحی کند و نیروی خود را نگه دارد. اگر کنترل خلاء روی ویفرهای نازک تر مهم باشد ، اندازه منافذ کوچکتر در آن گنجانیده می شود. برای سرعت جریان سریعتر در صورت لزوم ، از اندازه منافذ بزرگتر استفاده می شود.

چاک های متخلخل SIC به عنوان یک نتیجه از اندازه منافذ متغیر ، ترکیبات سرامیکی و شرایط شلیک ، تنوع رنگ را نشان می دهند. چاک های سیکن به رنگ سیاه یا خاکستری تیره هستند زیرا رنگ کاربید سیلیکون به رنگ خاکستری یا سیاه است ، اما چاک هایی با محتوای بزرگ آلومینا تمایل به رنگ سفید دارند. واریانس رنگ هیچ تاثیری در عملکرد محصول ندارد و فقط نمایانگر خصوصیات مهندسی شده ای است که برای برنامه های خاص برای رعایت نیازهای خاص مشتری ایجاد شده است.

در ابزارهای پردازش ویفر با سطح بالا ، پایداری حرارتی و عدم تحرک شیمیایی دو ویژگی مهم هستند. کاربید سیلیکون مقاومت بسیار خوبی در برابر گازهای خوردگی و دوچرخه سواری حرارتی فراهم می کند. چاک متخلخل با موفقیت در محفظه های خلاء و ابزارهای اچ پلاسما عمل می کند و با دمای سریع در حال تغییر ، عملکرد خوبی را انجام می دهد. توانایی آنها در حفظ پایداری کم نور چاک تضمین می کند که ویفر در همان مکان باقی می ماند ، حتی اگر الزامات صحت بسته به فرآیند کمک به تثبیت ابعاد می تواند زیر میکرون باشد ، دقت را تضمین می کند.

چاک های متخلخل Semicorex با استفاده از روشهای مجاز شکل گیری و پخت و پز که تخلخل یکنواخت ، استحکام انعطاف پذیر بالا و انبساط حرارتی کم ایجاد می شود ، ساخته می شوند. هر چاک برای اطمینان از یک محصول قابل اعتماد و قابل تکرار برای ساختار منافذ ، صاف بودن و عملکرد خلاء مورد بازرسی قرار می گیرد. طرح های سفارشی همچنین برای قرار دادن اندازه های خاص ویفر و الزامات ادغام سیستم مانند کانال های جریان گاز پشتی یا ویژگی های نصب در دسترس هستند.

در نتیجه ، SIC CHUCK متخلخل یک سیستم پشتیبانی از بستر با قابلیت اطمینان بالا است که با دقت طراحی شده است تا در رابطه با الزامات پردازش دقیق ویفر کار کند. با داشتن توانایی بالایی بالا ، ساختار منافذ قابل تنظیم و پایداری مواد برجسته ، محصولی ضروری در خطوط ساخت نیمه هادی امروز است.