خلاء متخلخل

CHUCK خلاء متخلخل Semicorex یک راه حل کاربری با هدف دستیابی به موقعیت دقیق و پایدار ویفرها در تمام مراحل پردازش نیمه هادی را نشان می دهد. این خلاء چاک دارای گرفتن عالی برای کاربردهای تراز ویفر و تنظیم بستر است و از این طریق قابلیت اطمینان و عملکرد را افزایش می دهد. گزینه های اصلی مواد - Sus430 ، آلیاژ آلومینیوم 6061 ، سرامیک آلومینای متراکم ، گرانیت و سرامبی سیلیکون - انعطاف پذیری کاربر را برای انتخاب مواد بهینه با توجه به نیازهای فردی در عملکرد حرارتی ، خصوصیات مکانیکی یا وزن فراهم می کند.

انتخاب بهتر مواد: قسمت زیرین خلاء SIC متخلخل را می توان با مواد مختلف متناسب با نیازهای مختلف تغییر داد:

• SUS430: گزینه ارزان قیمت که برای استفاده های مشترک در برابر زنگ زدگی مقاومت می کند.
• آلیاژ آلومینیوم 6061: ترکیبی از استحکام ، وزن سبک و کارآیی عالی را نشان می دهد و آن را برای کار با ویفر منظم مناسب می کند.
• سرامیک آلومینای متراکم (99 ٪ AL2O3): ثبات حرارتی عالی و سختی زیاد را فراهم می کند ، مناسب برای کاربردهای درجه حرارت بالا یا دقیق.
• گرانیت: به دلیل صافی و پایداری استثنایی ، گرانیت گسترش حرارتی کم را فراهم می کند ، ایده آل برای برنامه های کاربردی که نیاز به دقت بالایی دارند.
• سرامیک کاربید سیلیکون: به دلیل هدایت حرارتی بالا ، مقاومت شیمیایی و دوام شناخته شده است ، SIC برای محیط های با کارایی بالا ایده آل است که در آن شرایط شدید با آن روبرو می شود.

صافی با دقت بالا: خلاء متخلخل متخلخل ، صافی برتر را تضمین می کند ، با دقت متفاوت بر اساس مواد مورد استفاده. رتبه بندی مواد از بالاترین تا پایین ترین دقت صافی:

سرامیک گرانیتی و سیلیسن کاربید: هر دو ماده از صافی با دقت بالایی برخوردار هستند و از ثبات ویفر حتی در محیط های پردازش پردازش اطمینان می دهند.

آلومینای متراکم (99 ٪ AL2O3): صافی کمی در مقایسه با گرانیت و SIC ، اما هنوز هم دقت خوبی را برای برنامه های نیمه هادی عمومی ارائه می دهد.

آلیاژ آلومینیوم 6061 و SUS430: دقت صافی کمی پایین تر را ارائه دهید اما هنوز هم برای کار با ویفر در برنامه های کمتر خواستار بسیار قابل اعتماد هستند.

تغییرات وزن برای نیازهای خاص: خلاء SIC متخلخل به کاربران امکان می دهد انواع مختلفی از گزینه های مواد را بر اساس نیازهای وزن انتخاب کنند:

آلیاژ آلومینیوم 6061: سبکترین انتخاب مواد ، ارائه کار و حمل و نقل آسان.

گرانیت: یک ماده پایه سنگین تر که ثبات بالایی را فراهم می کند و لرزش ها را در طول پردازش به حداقل می رساند.

سرامیک کاربید سیلیکون: دارای وزن متوسط ​​است و تعادل دوام و هدایت حرارتی را ارائه می دهد.

سرامیک آلومینای متراکم: سنگین ترین گزینه ، ایده آل برای کاربردهایی که در آن پایداری و مقاومت حرارتی بالا در اولویت قرار دارند.

دوام و عملکرد بالا: خلاء متخلخل SIC CHUCK برای عملکرد طولانی مدت ، قادر به تحمل تغییرات دما شدید و سایش همراه با پردازش نیمه هادی است. نوع سرامیک کاربید سیلیکون به دلیل مقاومت استثنایی آن در برابر انبساط حرارتی و خوردگی ، برای محیط های با درجه حرارت بالا و شیمیایی تهاجمی مفید است.

راه حل های مقرون به صرفه: با گزینه های مختلف مواد ، خلاء SIC متخلخل یک راه حل مقرون به صرفه را ارائه می دهد که می تواند متناسب با بودجه های مختلف و الزامات کاربردی باشد. برای کاربردهای عمومی ، آلیاژ آلومینیوم و SUS430 در حالی که هنوز عملکرد رضایت بخش ارائه می دهند ، مقرون به صرفه هستند. برای محیط های خواستار تر ، گزینه های سرامیکی گرانیت یا SIC عملکرد و دوام پیشرفته را فراهم می کنند.

برنامه ها:

خلاء SIC متخلخل در درجه اول در صنعت نیمه هادی برای کار با ویفر استفاده می شود ، از جمله در فرآیندی مانند:

• دیک و برش ویفر
• تولید فتوولتائیک
• رشد Epitaxy MOCVD و CVD
• کاشت یون
• فرآیندهای اکسیداسیون و انتشار

خلاء متخلخل Semicorex Sic Chuck از دقت ، تطبیق پذیری و دوام خود متمایز است. این که آیا شما به راه حل های سبک وزن برای رسیدگی عمومی یا مواد پیشرفته برای فرآیندهای نیمه هادی با کارایی بالا نیاز دارید ، محصول ما طیف گسترده ای از گزینه ها را برای رفع نیازهای شما ارائه می دهد. با استفاده از استانداردهای با بالاترین کیفیت ، چاک های خلاء ما از کار با ویفر قابل اعتماد و کارآمد برای برنامه های مختلف اطمینان حاصل می کنند و نتایج مداوم را در هر دو فرآیند استاندارد و تخصصی ارائه می دهند.

برای صنایعی که پایداری ویفر و کار دقیق بسیار مهم است ، خلاء SIC متخلخل یک راه حل ایده آل ارائه می دهد. با انتخاب مواد ، دقت بالا و دوام برتر ، انتخاب مناسبی برای طیف گسترده ای از فرآیندهای نیمه هادی است.