چاک های خلاء متخلخل SiC

SiC متخلخل Semicorexچاک های خلاءاجزای ضروری هستند که می توانند به طور گسترده در فرآیندهای تولید نیمه هادی های پیشرفته مانند نازک کردن ویفر، خرد کردن، سنگ زنی، پرداخت، فوتولیتوگرافی، حکاکی استفاده شوند. پلت فرم جذب آنها با یک صفحه سرامیکی متخلخل SiC با منافذ متعدد در مقیاس میکرون توزیع شده ساخته شده است. با قطر منافذ ثابت و سرعت سوراخ استثنایی، چاک‌های خلاء متخلخل SiC Semicorex یک مسیر گاز صاف را برای تخلیه خلاء فراهم می‌کنند. در حین کار، فشار منفی پایدار و یکنواختی بین چاک و ویفر ایجاد می‌شود و اجازه می‌دهد تا ویفرهای نیمه‌رسانا با خلاء با کارایی بالا بسته شوند.

مزایای چاک خلاء متخلخل SiC Semicorex 

1. دقت پردازش استثنایی

ویفرهای نیمه هادی پردازش شده در ساخت نیمه هادی های پیشرفته بسیار نازک هستند، بنابراین حتی خمش جزئی، ارتعاش یا تنش موضعی ناهموار ممکن است منجر به شکستن ویفر، تاب برداشتن و کاهش دقت در فرآیندهای حیاتی مانند لیتوگرافی شود. نیمه کورکسSiC متخلخلچاک های خلاء از طریق سنگ زنی و پرداخت با دقت بالا پردازش می شوند و به زبری سطح کامل Ra ~ 0.1 میکرومتر می رسند. این امر، چاک‌های خلاء متخلخل SiC Semicorex را قادر می‌سازد تا سطح عملیاتی بهینه‌سازی شده‌ای را برای تولید نیمه‌رساناهای با دقت بالا فراهم کنند.

2. تمیزی بالا و مقاومت در برابر خوردگی بالا

برای رعایت کامل استانداردهای تمیزی نیمه هادی ها، Semicorex چاک های خلاء متخلخل SiC را با مواد خام کاربید سیلیکون با خلوص بالا از طریق تف جوشی در دمای بالا تولید می کند. این تضمین می کند که چاک ها از ریزش ذرات و آلودگی فلزی قابل مهاجرت عاری هستند. با بهره مندی از پایداری شیمیایی عالی SiC، چاک های خلاء متخلخل SiC Semicorex قادر به مقاومت در برابر محیط های خوردگی خشن هستند و هیچ محصول جانبی اضافی تولید نمی کنند، و آنها را برای فرآیندهای ساخت نیمه هادی تمیز با درجه بالا بسیار مناسب می کند.

3. دوام عالی و پایداری طولانی مدت

چاک های خلاء مورد استفاده در خطوط تولید باید هزاران سیکل جذب و رهاسازی و همچنین نوسانات دمایی طولانی مدت را تحمل کنند. این امر الزامات بسیار بالایی را بر عملکرد مواد چاک های خلاء تحمیل می کند. چاک‌های خلاء متخلخل SiC Semicorex دارای سختی و مقاومت در برابر سایش فوق‌العاده با انبساط حرارتی پایدار هستند. آنها هیچ خزش یا کاهش عملکرد را در شرایط دمای بالا نشان نمی دهند، که به طور قابل توجهی عمر سرویس آنها را افزایش می دهد و تعمیر و نگهداری و فرکانس تعویض قطعات را کاهش می دهد.