Robot End Effector

Semicorex یک تولید کننده مستقل پیشرو گرافیت با پوشش سیلیکون کاربید، گرافیت با خلوص بالا ماشینکاری شده دقیق است که بر روی گرافیت پوشش داده شده با کاربید سیلیکون، سرامیک سیلیکون کاربید، و مناطق MOCVP در تولید نیمه هادی تمرکز دارد. Robot End Effector ما مزیت قیمت خوبی دارد و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Robot End Effector دست ربات است که ویفرهای نیمه هادی را بین موقعیت های تجهیزات پردازش ویفر و حامل ها حرکت می دهد. Robot End Effector باید از لحاظ ابعادی دقیق و از نظر حرارتی پایدار باشد و در عین حال دارای سطح صاف و مقاوم در برابر سایش باشد تا با خیال راحت ویفرها را بدون آسیب رساندن به دستگاه‌ها یا ایجاد آلودگی ذرات معلق داشته باشد. Robot End Effector روکش کاربید سیلیکون با خلوص بالا (SiC) مقاومت حرارتی عالی، حتی یکنواختی حرارتی برای ضخامت و مقاومت لایه epi و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می دهد.

پارامترهای Robot End Effector

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز β FCC
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	میکرومتر	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت حرارتی	J kg-1 K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300℃)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
هدایت حرارتی	(W/mK)	300