Robot End Effector

Semicorex یک تولید کننده مستقل پیشرو گرافیت با پوشش سیلیکون کاربید، گرافیت با خلوص بالا ماشینکاری شده دقیق است که بر روی گرافیت پوشش داده شده با کاربید سیلیکون، سرامیک سیلیکون کاربید، و زمینه های تولید نیمه هادی MOCVP تمرکز دارد. Robot End Effector ما مزیت قیمت خوبی دارد و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Robot End Effector دست ربات است که ویفرهای نیمه هادی را بین موقعیت های تجهیزات پردازش ویفر و حامل ها حرکت می دهد. Robot End Effector باید از نظر ابعادی دقیق و از نظر حرارتی پایدار باشد و در عین حال دارای سطح صاف و مقاوم در برابر سایش باشد تا با خیال راحت ویفرها را بدون آسیب رساندن به دستگاه‌ها یا ایجاد آلودگی ذرات معلق داشته باشد. Robot End Effector روکش کاربید سیلیکون با خلوص بالا (SiC) مقاومت حرارتی عالی، حتی یکنواختی حرارتی را برای ضخامت و مقاومت لایه epi و مقاومت شیمیایی بادوام ارائه می‌دهد.

پارامترهای Robot End Effector

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300