Semicorex SiC Boat for Wafer Handling که از یک کاربید سیلیکون با خلوص استثنایی ساخته شده است، دارای ساختاری است که شامل شکاف های دقیقی برای محکم کردن ویفرها است و هرگونه حرکت در طول مراحل عملیاتی را کاهش می دهد. انتخاب کاربید سیلیکون به عنوان ماده نه تنها سختی و انعطاف پذیری را تضمین می کند، بلکه توانایی تحمل دماهای بالا و قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی را نیز تضمین می کند. این باعث می شود قایق SiC برای جابجایی ویفر به یک جزء محوری در بسیاری از مراحل تولید نیمه هادی مانند کشت کریستال ها، انتشار، کاشت یون و فرآیندهای اچینگ تبدیل شود.
قایق Semicorex SiC برای جابجایی ویفر با نسبت بینظیر استحکام به وزن و خواص رسانایی حرارتی فوقالعادهاش متمایز شده و از طریق پوشش CVD SiC تحت یک فرآیند بهبود بیشتر قرار میگیرد. این لایه پوشش اضافی مقاومت آن را در برابر سختیهای محیطهای پردازش تقویت میکند و از آن در برابر تخریب شیمیایی و نوسانات حرارتی محافظت میکند، به طور قابلتوجهی طول عمر عملیاتی آن را افزایش میدهد و عملکرد ثابت را تحت شرایط عملیاتی سختگیرانه تضمین میکند.
در عملیات حرارتی مانند بازپخت یا انتشار، قایق SiC برای جابجایی ویفر در دستیابی به توزیع یکنواخت دما بر روی سطح ویفر مؤثر است. هدایت حرارتی عالی آن، پراکندگی موثر گرما را تسهیل میکند، اختلافات حرارتی را کاهش میدهد و یکنواختی در نتایج فرآیند را ارتقا میدهد.
قایق SiC Semicorex برای جابجایی ویفر به دلیل قابلیت اطمینان و عملکرد فوقالعادهاش که الزامات سختگیرانه تولید نیمهرسانای معاصر را برآورده میکند، مورد احترام است. SiC Boat for Wafer Handling با سازگاری خود برای هر دو فرآیند دسته ای و فردی، به عنوان یک ابزار ضروری برای تأسیسات تولید نیمه هادی است که به استانداردهای محصول برتر و حداکثر بازده اختصاص یافته است. یکپارچگی و قابلیت اطمینان ویفرها، یافتن کاربرد گسترده در تجهیزات تولید نیمه هادی، دستگاه های صنعتی و به عنوان قطعات جایگزین.