دارندگان قایق Semicorex SIC مؤلفه های ساختاری اساسی هستند که موقعیت یابی دقیق ویفر را در پردازش حرارتی نیمه هادی تضمین می کنند. Semicorex را برای کیفیت بی نظیر ، تخصص فنی و تعهد به پیشبرد راه حل های SIC با خلوص بالا در ساخت نیمه هادی انتخاب کنید.*
دارندگان قایق Semicorex SIC دستگاه های پشتیبانی دقیق هستند که برای نگه داشتن قایق های ویفر در طی فرآیندهای درجه حرارت بالا در ساخت نیمه هادی طراحی شده اند. ساخته شده از کاربید سیلیکون با خلوص بالا (SIC) ، این دارندگان دارای پایداری حرارتی عالی ، مقاومت شیمیایی و استحکام مکانیکی هستند ، ویژگی های اساسی در هنگام استفاده در فرآیندهای مانند انتشار ، اکسیداسیون و رشد اپیتاکسی.
در تقاضای محیط های ساخت نیمه هادی ، محافظت از یکپارچگی ویفر و به حداقل رساندن آلودگی بسیار مهم است. دارندگان قایق SIC یک سکوی محکم و بی اثر را ارائه می دهند که می تواند در حالی که یکپارچگی را بدون تغییر شکل و بدون انتشار آلاینده ها حفظ می کند ، محیط های کوره شدید را تحمل کند. عدم تحرک شیمیایی آنها امکان استفاده از آنها را با گازهای فرآیند واکنشی فراهم می کند ، در حالی که انتقال حرارتی آنها حتی گرمایش سطح ویفرها را برای پردازش مداوم تقویت می کند.
هر دارنده قایق SIC با تحمل بالایی برای دقت ابعادی تولید می شود و باعث می شود که آنها راحت باشند و با هر نوع قایق ویفر و تنظیمات بار خودکار سازگار شوند. ساختار سفت و سخت آنها نه تنها پشتیبانی قوی ، پایدار و کافی برای قایق های ویفر ایجاد می کند بلکه باعث کاهش احتمال میکرو وبرهای یا تغییر موقعیتی می شود. علاوه بر این ، کاربید سیلیکون از مقاومت در برابر سایش بسیار عالی برخوردار است و می تواند دوچرخه سواری گرمای مکرر را تحمل کند تا عمر طولانی داشته باشد و در نتیجه خرابی کمی و جایگزینی قطعات ویال باشد.
ویژگی های منحصر به فرد کاربید سیلیکون می تواند با توجه به پاکیزگی فرآیند ، مزایای دیگری را فراهم کند. بر خلاف فلزات یا مواد سرامیکی درجه پایین ، SIC در دمای شدید یا پلاسما از نظر شیمیایی ، از بین نمی رود ، یا از نظر شیمیایی تخریب نمی شود. این امر باعث می شود که دارندگان قایق SIC ابزاری عالی برای تولید کنندگان تلاش برای محدود کردن آلودگی اتاق تمیز برای گره های نیمه هادی پیشرفته که به عملکرد و خلوص بالا نیاز دارند ، محدود می شود.
دارندگان قایق Semicorex Sic با استفاده از فرآیندهای منحصر به فرد قالب ریزی و پخت و پز تولید می شوند که از ریزساختار یکنواخت و عملکرد مکانیکی بین دسته ها و در بین دارندگان قایق چندگانه اطمینان حاصل می کنند. به عنوان مثال ، شکل دارنده شکل یا پیکربندی شکاف را می توان سفارشی کرد و همچنین نوع نصب.
چه در کوره های عمودی یا راکتورهای افقی مورد استفاده قرار گیرد ، نگهدارنده قایق های Semicorex SIC تحمل تحمل برای تولید نیمه هادی نسل بعدی را برآورده می کند. اگر محصولات Hemicorex را انتخاب می کنید ، می دانید که با یک تأمین کننده کار کرده اید که دارای دانش است ، اختصاص به تعالی مادی ، و تلاش می کند تا به طور مداوم اجزای سرامیکی را با توجه به قابلیت اطمینان و تحویل نوآوری کند.