قایق SiC

قایق‌های Semicorex SiC به دقت از سرامیک SiC با خلوص بالا ساخته شده‌اند، ماده‌ای که به دلیل پایداری حرارتی بی‌نظیر، استحکام مکانیکی استثنایی و بی‌اثر بودن بی‌ثبات شیمیایی مشهور است. این ویژگی ها آن را به گزینه ای عالی برای شرایط سخت ساخت نیمه هادی تبدیل می کند.

قایق های SiC به دلیل سختی مواد و مقاومت استثنایی در برابر سایش، از استحکام مکانیکی و دوام بی نظیری برخوردار هستند. این آنها را قادر می‌سازد تا طبیعت سخت محیط‌های تولید نیمه‌هادی‌های با کارایی بالا را بدون تسلیم شدن در برابر سایش و پارگی تدریجی تحمل کنند. برخلاف سایر مواد، SiC یکپارچگی ساختاری خود را در طول زمان حفظ می‌کند و نیاز به تعویض مکرر را به میزان قابل توجهی کاهش می‌دهد و زمان خرابی در عملیات تولید را به حداقل می‌رساند - که در نهایت منجر به صرفه‌جویی قابل توجهی در هزینه تولیدکنندگان نیمه‌رسانا می‌شود.

بی اثر بودن شیمیایی SiC با مقاوم کردن آن در برابر حملات شیمیایی ناشی از گازهای واکنش پذیر و مواد معمولی مانند کلر و فلوئور، مناسب بودن آن را برای فرآیندهای نیمه هادی بیشتر می کند. این مقاومت قوی تضمین می‌کند که قایق‌های SiC ویفرها را در طول پردازش آلوده نمی‌کنند و در نتیجه خلوص و کیفیت دستگاه‌های نیمه‌رسانای ساخته شده را حفظ می‌کنند. برای فرآیندهایی که نیاز به مقاومت شیمیایی حتی بالاتری دارند، قایق‌های SiC را می‌توان با یک لایه اضافی از SiC پوشانده، مانعی اضافی در برابر حملات شیمیایی ایجاد کرد و سطح قایق را بالا برد تا خطر آلودگی ذرات را کاهش دهد.

خلوص بالای سرامیک SiC مورد استفاده در این قایق ها بسیار مهم است، زیرا ساخت نیمه هادی موادی را با حداقل ناخالصی الزامی می کند. حتی مقادیر کمی از آلاینده ها می تواند خواص الکتریکی ویفرها را مختل کند و منجر به نقص در دستگاه های نهایی شود. قایق‌های SiC از سرامیک SiC با خلوص فوق‌العاده مهندسی شده‌اند تا اطمینان حاصل شود که هیچ ناخالصی به محیط فرآیند وارد نمی‌کنند، حتی در دماهای بالا و شرایط واکنشی معمولی ساخت نیمه‌رسانا. این خلوص قابلیت اطمینان قایق‌های SiC را برای مراحل حیاتی فرآیند تقویت می‌کند.

سازگاری قایق های SiC با تجهیزات مختلف نیمه هادی بسیار مهم است. تطبیق پذیری SiC به آن اجازه می دهد تا دقیقاً ماشین کاری شود تا متناسب با ابعاد و پیکربندی های خاص مورد نیاز انواع مختلف کوره ها و راکتورهای نیمه هادی باشد و آنها را برای طیف گسترده ای از کاربردها، از عملیات تحقیق و توسعه در مقیاس کوچک گرفته تا خطوط تولید در مقیاس بزرگ، مناسب می کند. علاوه بر این، رسانایی حرارتی استثنایی و خواص اتلاف گرما این ماده به کنترل دمای کارآمدتر در طول پردازش کمک می کند و عملکرد و بازده دستگاه های نیمه هادی را بیشتر می کند.