قایق های SiC

نیمه کورکسSiCقایق ها نگهدارنده های ویفر سرامیکی با مهندسی دقیق هستند که به طور خاص برای فرآیند انتشار در تولید نیمه هادی ها و فتوولتائیک طراحی شده اند. این قطعات با کارایی بالا با نگه داشتن ایمن ویفرهای سیلیکونی در طول انتشار حرارتی مواد ناخالص، نقش مهمی در تولید دستگاه های الکترونیکی با کیفیت بالا ایفا می کنند. قایق‌های SiC به دلیل خواص مواد برترشان، از جمله خلوص بالا، پایداری حرارتی عالی و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی، به طور گسترده مورد استفاده قرار می‌گیرند، که آنها را در محیط‌های با دمای بالا و شرایط شیمیایی ضروری می‌سازد.

کاربردها در فرآیندهای انتشار

قایق‌های SiC عمدتاً در فرآیند انتشار، مرحله‌ای حیاتی در ساخت نیمه‌رسانا و سلول‌های خورشیدی، استفاده می‌شوند. این فرآیند شامل ورود مواد ناخالصی مانند فسفر یا بور به ویفرهای سیلیکونی برای اصلاح خواص الکتریکی آنها است. انتشار به مدیریت حرارتی دقیق و یک محیط شیمیایی پایدار برای اطمینان از توزیع یکنواخت ناخالصی و کیفیت ثابت ویفر نیاز دارد. قابلیت های دمای بالا و دوام قایق های SiC آنها را برای این کاربرد ایده آل می کند، به ویژه در فناوری های پیشرفته سلول های خورشیدی مانند TOPCon نوع N (تماس غیرفعال شده اکسید تونل) و دیگر سلول های فتوولتائیک نسل بعدی.

ویژگی های کلیدی SiC Boats

خلوص بالا:

قایق های SiC با سرامیک کاربید سیلیکون با خلوص 86.5 درصد تولید می شوند. این امر حداقل آلودگی ویفرها را در طول فرآیند انتشار تضمین می کند و استانداردهای بالای مورد نیاز برای مواد نیمه هادی را حفظ می کند.

پایداری حرارتی:

کاربید سیلیکونهدایت حرارتی استثنایی و مقاومت در برابر شوک حرارتی قایق ها را قادر می سازد تا در برابر تغییرات سریع دما مقاومت کنند و یکپارچگی ساختاری را در دمای بیش از 1000 درجه سانتیگراد حفظ کنند. این پایداری عملکرد قابل اعتماد را در چرخه های انتشار چندگانه تضمین می کند.

مقاومت شیمیایی:

قایق های SiC مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی شیمیایی نشان می دهند، حتی زمانی که در معرض گازهای ناخالص فعال مانند فسفین و تری کلرید بور قرار گیرند. این ویژگی دوام طولانی مدت را تضمین می کند و خطر آلودگی را کاهش می دهد.

مهندسی دقیق:

طراحی قایق های SiC بر دقت بالا برای قرار دادن ایمن ویفرها با قطرهای مختلف تاکید دارد. تکنیک های پیشرفته تولید، یکنواختی و سازگاری با سیستم های حمل و نقل خودکار را تضمین می کند، و کارایی عملیاتی را در خطوط تولید با توان بالا بهبود می بخشد.

دوام و طول عمر:

قایق های SiC دارای مقاومت در برابر سایش استثنایی هستند که به طور قابل توجهی عمر مفید آنها را در مقایسه با سایر مواد افزایش می دهد. این دوام به معنای صرفه جویی در هزینه برای تولید کنندگان با کاهش دفعات تعویض است.

گزینه های سفارشی سازی:

برای برآورده کردن نیازهای مختلف تولید کنندگان نیمه هادی و فتوولتائیک، قایق های SiC را می توان از نظر ابعاد، ظرفیت ویفر و مشخصات طراحی سفارشی کرد. این انعطاف پذیری سازگاری با سیستم ها و فرآیندهای انتشار خاص را تضمین می کند.

مزایای قایق های SiC در فرآیندهای انتشار

قایق های SiC نسبت به مواد سنتی مانند کوارتز یا گرافیت مزایای مشخصی دارند:

کاهش خطر آلودگی:

خلوص بالایکاربید سیلیکونانتشار ناخالصی هایی را که می تواند کیفیت ویفر را در طول فرآیند انتشار به خطر بیندازد، به حداقل می رساند.

بهبود کارایی فرآیند:

رسانایی حرارتی SiC توزیع یکنواخت گرما را در تمام ویفرها تضمین می کند و قوام انتشار ناخالصی را افزایش می دهد و نقص ها را کاهش می دهد.

افزایش ایمنی و قابلیت اطمینان:

استحکام مکانیکی SiC و مقاومت در برابر تغییر شکل در شرایط دمای بالا به عملکرد ایمن‌تر و نتایج قابل اطمینان‌تر در محیط‌های انتشار نیازمند کمک می‌کند.

پایداری:

عمر طولانی قایق های SiC ضایعات را کاهش می دهد و از شیوه های تولید پایدار با محیط زیست پشتیبانی می کند.

برنامه های کاربردی فراتر از انتشار

در حالی که فرآیندهای انتشار کاربرد اصلی قایق‌های SiC را نشان می‌دهند، خواص قوی آن‌ها آن‌ها را برای سایر فرآیندهای با دمای بالا و شیمیایی تهاجمی، از جمله:

• اکسیداسیون و بازپخت در تولید نیمه هادی.
• فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی (CVD) برای رشد لایه نازک.
• فرآیندهای دمای بالا در تولید سلول های فتوولتائیک پیشرفته

قایق‌های SiC اجزای ضروری در فرآیند انتشار هستند که امکان تولید دقیق و مطمئن دستگاه‌های نیمه‌رسانا و فتوولتائیک را فراهم می‌کنند. این نگهدارنده‌های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون با خواص بی‌نظیر مواد، دوام و گزینه‌های سفارشی‌سازی، استاندارد جدیدی را برای عملکرد در کاربردهای با دمای بالا و از نظر شیمیایی سخت تعیین می‌کنند. قایق‌های SiC Semicorex برای برآوردن نیازهای در حال تحول صنعت طراحی شده‌اند و ابزارهایی را در اختیار سازندگان قرار می‌دهند که برای پیشروی در بازار رقابتی فزاینده نیاز دارند.