دست و پا زدن SiC Cantilever

Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle یک جزء حیاتی است که در فرآیندهای تولید نیمه هادی ها، به ویژه در کوره های انتشار یا LPCVD (تخلیه بخار شیمیایی با فشار کم) در طی فرآیندهایی مانند انتشار و RTP (پردازش حرارتی سریع) استفاده می شود. این هدف حمایت و حمل ویفرها در لوله فرآیند این کوره ها است.

Semicorex SiC Cantilever Paddle عمدتاً از سیلیکون کاربید تشکیل شده است، ماده ای مقاوم و پایدار از نظر حرارتی که به دلیل مقاومت در برابر دمای بالا و خواص مکانیکی عالی شناخته شده است. SiC به دلیل توانایی آن در مقاومت در برابر شرایط سختی که در محیط های فرآیند با دمای بالا کوره های نیمه هادی مواجه می شود، انتخاب شده است. طراحی Paddle SiC Cantilever به آن اجازه می دهد تا در لوله فرآیند کوره گسترش یابد در حالی که در یک انتهای آن خارج از لوله محکم می شود. این طراحی ثبات و پشتیبانی از ویفرهای در حال پردازش را تضمین می کند و در عین حال تداخل با محیط حرارتی داخل کوره را به حداقل می رساند.

Paddle SiC Cantilever برای حمل ایمن ویفرهای نیمه هادی در لوله فرآیند در طول فرآیندهای مختلف با دمای بالا مانند انتشار و RTP است. ساختار مستحکم آن تضمین می کند که می تواند در برابر دماهای شدید و محیط های شیمیایی که در طی این فرآیندها با آن مواجه می شوند، بدون تخریب یا شکست مقاومت کند. پدل های کنسول SiC به گونه ای طراحی شده اند که با طیف گسترده ای از اندازه ها و شکل های ویفر نیمه هادی که معمولاً در صنعت استفاده می شود سازگار باشد. آنها اغلب برای تطبیق با پیکربندی های خاص کوره و الزامات فرآیند قابل تنظیم هستند.