دستمال های کانسیلر sic

دستگیره های Cantilever sic SiC ، اجزای با کارایی بالا هستند که دقیقاً برای انتقال ویفر و حمل و نقل ویفر در تجهیزات پردازش حرارتی نیمه هادی (LPCVD ، PECVD ، اکسیداسیون و کوره های انتشار) طراحی شده اند. این بالشتک های کانسیلر سکویی را برای ویفرها و یک شکل ضروری پشتیبانی فراهم می کند که حمل و نقل پایدار و قابل اعتماد از ویفرهای شکننده را از طریق فرآیندهای درجه حرارت بالا (که اغلب بیش از 1200 درجه سانتیگراد است) تضمین می کند. بالشتک های Cantilever از کاربید سیلیکون با خلوص بالا (SIC) تولید می شوند که دوام مکانیکی ، پایداری حرارتی و خواص ضد خوردگی را برای محیط ساخت نیمه هادی فراهم می کند.

کاربید سیلیکون یک ماده سرامیکی فوق العاده با هدایت حرارتی عالی ، انبساط حرارتی کم و امکان انجام قابل اعتماد در محیط های خصمانه شیمیایی است. کاربید سیلیکون در بالشتک های کانسیلر می تواند به کاهش پیچ و تاب حرارتی کمک کند

 و حرکتی که ویفرها را صاف و در موقعیت پردازش اسمی خود نگه می دارد. پایداری حرارتی ویفر در زمینه بالشتک های کانسیلر برای به حداقل رساندن مسائل مربوط به آلودگی ذرات و حرکت مکانیکی به ویژه هنگام تولید دستگاه های گره پیشرفته مهم است. این مسائل می تواند منجر به از دست دادن بازده یا کار مجدد پر هزینه و جایگزینی ویفرها شود.

شکل یکپارچه از بالشتک های cantilever sic ، استحکام مکانیکی و یکنواختی حرارتی را بهبود می بخشد و ضمن از بین بردن اتصالات و نقاط ضعف که به طور معمول در کامپوزیت ها وجود دارد. علاوه بر این ، سطح سطح بالشتک ها به طور خاص کنترل می شود ، و به طور کلی برای به حداقل رساندن تولید ذرات به یک با کیفیت نزدیک آینه صیقلی می شود و از کلاس بسیار تمیز است.

در فرآیندهای انتشار و اکسیداسیون که شامل اکسیژن ، بخار و سایر گازهای واکنش پذیر است. مواد معمولی ممکن است با گذشت زمان از بین بروند یا تغییر شکل دهند. خاصیت بی اثر شیمیایی ذاتی SIC تضمین می کند که دستگیره ها از آن خارج نمی شوند ، یا به دلیل استفاده از مواد ناپایدار ، آلودگی را به این فرآیند معرفی می کنند و به یک فرآیند پایدار و نتایج قابل اعتماد کمک می کنند.  یکپارچگی ساختاری بالشتک های سیسک با وجود دوچرخه سواری سریع گرمایش و سرمایش پایدار است. بنابراین ، آنها عمر خدمات عملیاتی طولانی را با تعمیر و نگهداری بسیار کاهش یافته یا خرابی جایگزین بخشی ارائه می دهند.

علاوه بر این ، کاهش جرم و وزن سبک بالشتک های SIC امکان پاسخ حرارتی سریعتر را فراهم می کند. بدین ترتیب اجازه می دهد تا سریعتر رمپ حرارتی و زمان خنک کننده باعث افزایش بهره وری و بهره وری انرژی شود ، تمام معیارهای اصلی در چشم انداز رقابتی تولید نیمه هادی.

بالشتک های Cantilever Sic را می توان در انواع تنظیمات و اندازه ها تهیه کرد که برای تهیه طرح های مختلف کوره و اندازه ویفر از 100 میلی متر تا 300 میلی متر و بزرگتر طراحی و ساخته شده است. یکپارچه سازنده های OEM و تجهیزات از قوام و قابلیت اطمینان از دستمال های SIC در طول زمان ، برای استقرار در هر دو فرآیند جلویی و پشتی قدردانی می کنند.

Semicorex دارای بالشتک های Cantilever Sic Premium با کنترل محکم بر خلوص مواد ، ریزساختار و تحمل های بعدی است. قابلیت های فرآیند پیشرفته ما ، همراه با دانش ما در مورد پویایی حرارتی نیمه هادی ، به ما این امکان را می دهد تا با این ویژگی هایی که از استانداردهای صنعت برای ثبات ، پاکیزگی و دوام استفاده می کنند ، دست و پا کند. هنگامی که نیاز به درست و قابل اعتماد بودن داشته باشد ، نیمورکس مکانی برای اجزای SIC با کیفیت است.