قایق های سرامیکی sic

قایق های سرامیکی Semicorex SIC حامل های پیشرفته ای هستند که به طور خاص برای حمل و نقل ایمن ، ذخیره و پردازش ویفرهای نیمه هادی در محیط های شیمیایی و حرارتی شدید طراحی شده اند. صنعت نیمه هادی به سرعت استانداردهای عملکرد جدیدی را اتخاذ کرده است که به قایق های سرامیکی SIC نیاز داشته است تا به طور قابل اعتماد ، با اعتماد و آلودگی به خواسته های غیرقابل تحمل و مهم برای فرآیندهای ساخت ویفر مدرن برسند.

ثبات و قدرت حرارتی قوی

ویژگی تعیین کننده قایق های سرامیکی SIC ثبات حرارتی بسیار بالایی آن است. قایق های سرامیکی SIC می توانند بدون از دست دادن شکل یا ساختار خود در طی فرآیندهای دوچرخه سواری حرارتی تهاجمی ، دمای بیش از 1600 درجه سانتیگراد را تحمل کنند. با توجه به ضریب انبساط حرارتی فوق العاده کم ، قایق های سرامیکی SIC کمتر مستعد تحریف و ترک خوردگی هستند و باعث تحمل محکم و ایمنی کلی ویفر در هنگام کار در شرایط سفت می شوند.

خلوص بالا و مقاومت شیمیایی

قایق های سرامیکی SIC از کاربید سیلیکون خلوص فوق العاده بالا ساخته شده اند. قایق های سرامیکی SIC همچنین در برابر تخریب شیمیایی ، خورنده و فرسایش پلاسما بسیار مقاوم هستند. ماهیت بی اثر قایق های سرامیکی SIC به معنای فرآیندهای گازهای خورنده ، محیط های واکنشی ، شرایط اسیدی نیست که هیچ آلودگی از قایق یا هیچ چیز محلول برای آسیب رساندن به روند کار ایجاد نمی کند. سطح غیر قارچی قایق های سرامیکی SIC امکان تولید ذرات یا شستشوی یون را فراهم نمی کند ، بنابراین یک سطح ویفر به دلیل ناخالصی هایی که مانع از عملکرد یا عملکرد دستگاه می شود ، به خطر نمی افتد.

مهندسی دقیق برای کار با ویفر ایمن و ایمن

قایق های سرامیکی SIC در تحمل های محکم تولید می شوند و به آنها امکان می دهند ویفرهای قطر مختلف از جمله 100 میلی متر ، 150 میلی متر ، 200 میلی متر ، 300 میلی متر و موارد دیگر را کنترل کنند. طراحی ساختاری قایق های SIC ، صافی ، موازی سازی و اندازه شکاف یکنواخت را برای حفظ جهت گیری مناسب در ویفر و محافظت از لبه های ویفر هنگام انتقال به فرآیند یا ابزار دیگر فراهم می کند. تمام قایق های SIC می توانند با ابعاد سفارشی طراحی شوند تا با مجموعه ابزار مطابقت داشته باشند یا مشخصات اتوماسیون را برآورده کنند.

طول عمر طولانی و مقرون به صرفه تر

SIC جایگزین مواد سنتی (کوارتز ، آلومینا) با قدرت مکانیکی به طور قابل توجهی بهبود یافته ، چقرمگی شکستگی و مقاومت در برابر شوک حرارتی است. این سطح از دوام قبل از "شکست" به طول عمر طولانی تر ، به طور قابل توجهی کمتر تعویض در حین کار و کاهش هزینه کل مالکیت ترجمه می شود. قوام عملکرد از دوام SIC باعث کاهش زمان و سرعت بخشیدن به توان در خطوط تولید نیمه هادی می شود.

برنامه های باز در فرآیندهای نیمه هادی

قایق های سرامیکی SIC به طور گسترده ای در فرآیندهای نیمه هادی جلویی مانند:

رسوب LPCVD و PECVD

اکسیداسیون حرارتی

کاشت یون

بازپخت و انتشار

تمیز کردن ویفر و پردازش شیمیایی

دستگیره های سرامیکی SIC دارای برنامه های پردازش سازگار در اتاق های جو و خلاء فرآیند هستند و آن را به عنوان یک انتخاب ایده آل برای ریخته گری ها و فاب ها که به دنبال به حداقل رساندن و کاهش خطر آلودگی هستند و در عین حال افزایش بهره وری است.