چاک وکیوم سرامیکی SiC

ریز سوراخ‌های مهندسی دقیق به طور یکنواخت در سرتاسر سطح چاک‌های خلاء سرامیکی SiC توزیع می‌شوند و امکان اتصال مطمئن به تجهیزات خلاء خارجی را فراهم می‌کنند. در حین کار، پمپ خلاء برای کشیدن هوا از طریق سوراخ ها فعال می شود و یک محیط فشار منفی بین ویفر نیمه هادی و چاک خلاء ایجاد می کند. بنابراین این اجازه می دهد تا ویفر به طور یکنواخت و محکم روی سطح چاک خلاء نگه داشته شود.

مزایای چاک وکیوم سرامیکی Semicorex SiC

1. انتخاب مواد برتر

نیمه کورکسچاک وکیوم سرامیکی SiCبا دقت کاربید سیلیکون با خلوص بالا را به عنوان ماده خام انتخاب کنید. کنترل دقیق Semicorex بر خلوص مواد به طور موثری از آلودگی ویفر ناشی از ناخالصی‌ها در حین کار جلوگیری می‌کند، بنابراین نیازهای رو به رشد برای تمیزی و عملکرد تولید را برآورده می‌کند.

2. دقت ماشینکاری خوب

سطح چاک های خلاء سرامیکی Semicorex SiC تحت صیقل آینه ای قرار می گیرد و صافی آنها در 0.3-0.5 میکرومتر کنترل می شود. این کنترل صافی شدید می تواند اثر تماس بهینه را فعال کند، که تا حد زیادی خطر خراش ویفر ناشی از سطوح تماس ناهموار را کاهش می دهد. هر ریز سوراخ و شیار در چاک‌های خلاء با ماشینکاری دقیق انجام می‌شود، بنابراین یک اثر جذب پایدار و یکنواخت در حین کار ایجاد می‌کند.

3. خدمات سفارشی سازی انعطاف پذیر

Semicorex خدمات سفارشی سازی را به مشتریان عزیز ارائه می دهد و گزینه های اندازه های مختلف چاک های خلاء سرامیکی SiC مانند 6 اینچ، 8 اینچ، 12 اینچ را ارائه می دهد. ما می‌توانیم تلورانس‌های ابعادی، اندازه منافذ، صافی و زبری را برای برآورده کردن نیازهای مشتری تنظیم کنیم و از تطابق کامل با تجهیزات پردازش و بازرسی نیمه هادی شما اطمینان حاصل کنیم.

4. دوام و طول عمر عالی

نیمه کورکسسرامیک SiCچاک های خلاء با پرس ایزواستاتیک تشکیل می شوند و سپس در دمای بالا زینتر می شوند. پس از این فناوری فرآیندهای ویژه، چاک‌های خلاء سرامیکی Semicorex SiC دارای چندین عملکرد عالی مانند سبک وزن، استحکام بالا، مقاومت در برابر سایش قوی و ضریب انبساط حرارتی پایین هستند. این ویژگی‌ها، چاک‌های خلاء سرامیکی Semicorex SiC را قادر می‌سازد تا به طور مداوم در شرایط چالش برانگیز در پردازش و پردازش ویفر نیمه‌رسانا کار کنند.