حلقه های فوکوس SiC

حلقه های فوکوس SiC پیشرفته و با خلوص بالا Semicorex برای مقاومت در برابر محیط های شدید در محفظه های پلاسما اچ (یا اچ خشک) ساخته شده اند. ما بر روی صنایع نیمه هادی مانند لایه های کاربید سیلیکون و نیمه هادی اپیتاکسی تمرکز می کنیم. محصولات ما مزیت قیمت خوبی دارند و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهند. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

حلقه های فوکوس SiC برای RTA، RTP یا تمیز کردن مواد شیمیایی خشن، تامین کننده Semicorex هستند. حلقه های فوکوس SiC یا حلقه های لبه برای بهبود یکنواختی اچ در اطراف لبه ویفر یا محیط طراحی شده اند. با قطعات با خلوص بالا که برای سختی‌های پردازش پلاسما اچ طراحی شده‌اند، آلودگی و نگهداری برنامه‌ریزی نشده را به حداقل برسانید. حلقه های فوکوس SiC ما با پوشش SiC یک پوشش متراکم و مقاوم در برابر سایش کاربید سیلیکون (SiC) است. دارای خواص مقاومت در برابر خوردگی و حرارت بالا و همچنین هدایت حرارتی عالی است. ما SiC را در لایه های نازک روی گرافیت با استفاده از فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) اعمال می کنیم.

پارامترهای حلقه های فوکوس SiC

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز β FCC
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	میکرومتر	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت حرارتی	J kg-1 K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (4pt خم، 1300℃)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
هدایت حرارتی	(W/mK)	300